應(yīng)用領(lǐng)域：

　　透射電鏡、離子探針、掃描電鏡、能譜儀分析等樣品制備，理化分析、科學(xué)研究等。

　　主要功能：

　　具備離子噴涂、離子濺射、離子清洗、蒸碳等功能

　　技術(shù)指標(biāo)：

　　離子噴涂電流：≤100A連續(xù)可調(diào)

　　離子濺射電壓：≤3KV連續(xù)可調(diào)

　　極限真空度：優(yōu)于2×10^-3Pa

　　真空腔室尺寸：內(nèi)徑Ф250mm×高度340mm

　　離子噴涂玻璃隔離罩尺寸：內(nèi)徑Ф88mm×高度140mm

　　濺射鍍玻璃隔離罩尺寸：Ф88mm×高度57mm

　　試樣運(yùn)動(dòng)方式：平面旋轉(zhuǎn)、傾斜旋轉(zhuǎn)、進(jìn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)