詳細介紹
設(shè)備特點
該設(shè)備主要用于紅外杜瓦的真空處理,是無油、超高真空系統(tǒng),可實現(xiàn)紅外杜瓦內(nèi)真空獲得、烘烤除氣、工作氣體保護、氣密性檢測等制備工藝過程的控制,具有排氣速度快,極限真空度高等特點。設(shè)備廣泛應(yīng)用于紅外探測、航空、航天等業(yè)及民用領(lǐng)域。
技術(shù)性能
1 工位數(shù)為16工位,分兩組,每組8個工位;
2 極限真空度:熱態(tài)空載狀態(tài)下真空度達到5~7×10-7Pa;
3 工位口加熱溫度80℃,8路溫度均勻性±1℃,控溫精度±1℃;
4 工位處配置充N2接口,使在卸下工件時能夠充入N2保護;
5 設(shè)有專用檢漏口,能夠滿足每次在安裝工件后進行細致氦質(zhì)譜檢漏,以避免漏氣狀態(tài)下進行排氣過程。
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