詳細(xì)介紹
設(shè)備特點(diǎn)
此設(shè)備主要用于為諧振腔提供真空排氣、充氣和老化的環(huán)境,能夠?qū)ぜM(jìn)行抽真空和充氣,同時(shí)又能為器件進(jìn)行烘烤、除氣。結(jié)構(gòu)緊湊,可同時(shí)對(duì)20個(gè)工件進(jìn)行排氣老化。電控與工作臺(tái)集成設(shè)計(jì)可大大節(jié)省空間。臺(tái)面上設(shè)置可旋轉(zhuǎn)觸屏控制板極大的方便用戶對(duì)設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的監(jiān)控。
性能參數(shù)
1 極限壓力:常溫≤2×10-7Pa
2 系統(tǒng)漏率:≤6×10-11Pa.m3/s
3 工件連接閥、充氣微調(diào)閥和氣瓶高閥漏率:≤2×10-11Pa.m3/s
4 管道和閥門耐烘烤溫度:300℃,管路烘烤溫度可控。
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