設(shè)備特點(diǎn)

    此設(shè)備主要用于為諧振腔提供真空排氣、充氣和老化的環(huán)境，能夠?qū)ぜM(jìn)行抽真空和充氣，同時又能為器件進(jìn)行烘烤、除氣。結(jié)構(gòu)緊湊，可同時對20個工件進(jìn)行排氣老化。電控與工作臺集成設(shè)計可大大節(jié)省空間。臺面上設(shè)置可旋轉(zhuǎn)觸屏控制板極大的方便用戶對設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的監(jiān)控。

　　性能參數(shù)

　　1 極限壓力：常溫≤2×10^-7Pa

    2 系統(tǒng)漏率：≤6×10^-11Pa.m³/s

    3 工件連接閥、充氣微調(diào)閥和氣瓶高閥漏率：≤2×10^-11Pa.m³/s

    4 管道和閥門耐烘烤溫度：300℃，管路烘烤溫度可控。