1. 光機(jī)電一體化設(shè)計(jì)，外形結(jié)構(gòu)簡單；

2. 掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體，抗干擾能力強(qiáng)；

3. 精密激光檢測及探針定位裝置，光斑調(diào)節(jié)簡單，操作方便；

4. 采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；

5. 伺服馬達(dá)手動(dòng)或自動(dòng)脈沖控制，驅(qū)動(dòng)樣品垂直接近探針，實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位；

6. 高精度大范圍的樣品移動(dòng)裝置，可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區(qū)域；

7. 高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；

8. 采用伺服馬達(dá)控制CCD對(duì)焦和光學(xué)放大；

9. 模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù)；

10. 集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用。