1、光機電一體化設(shè)計，外形結(jié)構(gòu)簡單；

2、掃描探頭和樣品臺集成一體，抗干擾能力強；

3、精密激光檢測及探針定位裝置，光斑調(diào)節(jié)簡單，操作方便；

4、采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；

5、伺服馬達手動或自動脈沖控制，驅(qū)動樣品垂直接近探針，實現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位；

6、高精度大范圍的樣品移動裝置，可自由移動感興趣的樣品掃描區(qū)域；

7、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；

8、自由變倍的CCD觀測系統(tǒng)，實時觀測與定位探針掃描樣品區(qū)域；

9、采用伺服馬達控制CCD對焦和光學(xué)放大；

10、模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計，便于電路的持續(xù)改進與維護；

11、集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用。