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詳細(xì)介紹
甲岸科技電路板真空等離子清洗機
甲岸科技電路板真空等離子清洗機用于半導(dǎo)體行業(yè)封裝段清洗。晶圓表面活化，除膠，刻蝕，提高表面附著力，確保出眾的清洗效果，滿足用戶對產(chǎn)品表面處理需求。
產(chǎn)品應(yīng)用
1、FPC/PCB 孔壁凹蝕 / 去除孔壁樹脂鉆污
2、PTFE&聚四氟乙烯材料的活化處理
3、化學(xué)沉金/電鍍前手指、焊盤表面清潔
4、碳化物去除
5、去除電鍍夾膜
產(chǎn)品特點
- 采用水平式電極，收、放板方式便捷,方便人員操作，提升換板效率
- 優(yōu)良的冷卻方式,深鉆孔水流設(shè)計，消除冷卻管道對電極板之間的遮擋，縮短清洗時間
- 控制界面操作簡單易學(xué)，全自動運行，可24小時連續(xù)工作,無需人工看管
Model | AP-PVM-010 | AP-PVM-020 | AP-PVM-030 |
外觀尺寸 （L*W*H mm） | 1400*1360*2000 | 1600*1460*2000 | 1950*1700*2000 |
腔體尺寸 （L*W*H mm） | 500*800*600 | 600*1000*600 | 1200*1300*600 |
電極層數(shù) | 15 | 17 | 17 |
離子發(fā)生器功率 | 10KW 40KHZ | 10KW 40KHZ | 20KW 40KHZ |
真空系統(tǒng) | 50L/Min | 76L/Min | 110L/Min |
壓縮空氣 | 0.5MPa | 0.5MPa | 0.5MPa |
冷卻方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
工藝氣體 | Ar，N2，CF4，O?，H2 | Ar，N2，CF4，O?，H2 | Ar，N2，CF4，O?，H2 |
重量（KG） | 1000 | 1200` | 1500 |
電源 | AV380V 50-60HZ | AV380V 50-60HZ | AV380V 50-60HZ |
語言 | 中文/英文 | 中文/英文 | 中文/英文 |
操作手冊 | 電子檔文件 | 電子檔文件 | 電子檔文件 |
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