等離子源系統(tǒng)

頻  率

13.56MHz  射頻

40KHz  中頻

功  率

0~1000W可調(diào)

0-5000W可調(diào)

             選 配

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質(zhì)

316L不銹鋼、航空鋁（選配）

腔體內(nèi)部尺寸（MM）

500*600*500（寬高深)

腔體容積

150L

極板

17層，水平式，活動(dòng)可調(diào)節(jié)

密封性

級焊接密封

泵

泵組

油泵/干泵+羅茨泵組合（選配）

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計(jì)

1×105~1×10-1Pa

質(zhì)量流量計(jì)

＜±1% FS

氣路控制

2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào)

極限真空

5Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM（可調(diào)）

工藝氣體

Ar、N?、O?、H?等等（可選）

控制系統(tǒng)

1、PLC 自動(dòng)控制；

2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面；

3、配方程序?yàn)?nbsp;0~99；

4、多級權(quán)限操作；

5、圖形化曲線圖自動(dòng)監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)及錯(cuò)誤信息；

6、存儲(chǔ)工藝數(shù)據(jù)及錯(cuò)誤信息；

7、報(bào)警信息提示及追溯；

8、圖形化界面檢測處理參數(shù)；

9、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換；

10、維護(hù)提示緊急停止按鈕；

11、門感應(yīng)器和真空互鎖；

12、機(jī)器運(yùn)行信號指示；

13、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示；

外觀參數(shù)

外形尺寸(MM)

850*1700*1020(寬高深）

重  量

700KG

設(shè)施配置

電  力

五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA

其  它

提供操作手冊、維護(hù)手冊、安裝手冊，易損件備件清單.