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XY行程 420680mm 生產(chǎn)范圍 380430mm XY加速度 1g XY速度 500mm/s XY重復(fù)精度 0.02mm XY解析度 0.01mm Z行程 60mm Z加速度 0.75g Z速度 500mm/s Z重復(fù)精度 0.02mm 底部加熱模式 真空/熱風(fēng)可選配 加熱控制精度...

詳細(xì)介紹

XY行程 420×680mm
生產(chǎn)范圍 380×430mm
XY加速度 1g
XY速度 500mm/s
XY重復(fù)精度 ±0.02mm
XY解析度 0.01mm
Z行程 60mm
Z加速度 0.75g
Z速度 500mm/s
Z重復(fù)精度 ±0.02mm
底部加熱模式 真空/熱風(fēng)可選配
加熱控制精度 0.5攝氏度以內(nèi)
工作站位(Y軸) 1-2站可選
清潔方式 真空
相機(jī)光源 直射/漫射/斜射多色光源選配

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