1.設備名稱：

    常溫SF6氣體針板放電試驗裝置

2.設備功能：

    在真空條件下，注入低氣壓試驗SF6氣體，然后施加設定的高電壓，實現(xiàn)針板電暈放電。內(nèi)部垂直方向安裝了針板放電電極組，針電極在上通過腔體上部的真空高電壓絕緣子引入高電壓，板電極在下通過專門設計的地電極接地，板電極在垂直方向高低可調(diào)。充氣過程的充氣壓力可以實現(xiàn)高精度調(diào)節(jié)。裝置集成在一個移動小車上，方便使用和搬運。

3.設備特點：

   ①.設備具有一個高壓腔體，腔體容積約10L。采用了上下平蓋封頭的臥式結(jié)構(gòu)腔體。沿圓周方向設置了2個互相垂直的石英玻璃視鏡，方便觀察和攝像。設置了一個手孔開門，采用門軸式開門機構(gòu)。腔體上方有高電壓引入的絕緣子，引入電壓100KV。裝置配置了油封旋片式雙級真空泵，并安裝了電阻真空規(guī)、低氣壓壓力數(shù)字壓力表、正壓壓力數(shù)字壓力表以滿足不同試驗氣壓值分段的高精度測量。腔體內(nèi)部進行了拋光處理。腔體分別連接了真空抽氣通路和工藝氣體的充氣通路。

   ②.內(nèi)部板電極運動機構(gòu)采用了絲杠螺母式調(diào)節(jié)方式。通過精密加工和在軸向以及旋鈕圓周的高精度刻度線，可以實現(xiàn)針板距離調(diào)節(jié)滿足Z小0.1mm移動精度。

   ③.為了滿足高精度的充氣氣壓要求，充氣過程通過一組三個高精度真空微調(diào)閥來進行。通過微調(diào)閥開度的控制可以將充氣壓力過程的控制精度到2Pa，有效地防止了過充造成的試驗數(shù)據(jù)不穩(wěn)定。另外試驗過程可能采用多元混合氣體，所以裝置安裝了三個真空微調(diào)閥以滿足同時對不同氣體進行充裝作業(yè)。

   ④.系統(tǒng)抽氣泵配置了油封旋片式雙級真空泵，介質(zhì)氣體采用了瓶裝氣體。

   ⑤.設備充抽氣管路的通斷和切換均采用了手動真空壓力球閥，既可以實現(xiàn)真空下的嚴格密封也可以適應較高氣壓下的嚴格密封。

   ⑥.腔體通過特殊設計的圓形底座安裝于移動小車之上。

4.設備主要性能：

    ①.真空性能

    真空：0.2Pa

    設備總體漏率：2×10^-5Pa·m³/s

    ②.正壓試驗壓力

    壓力：0.6MPa

    正常試驗壓力：0.4MPa

    ③.接入電壓

    100KV

    ④.針板距調(diào)節(jié)

    調(diào)節(jié)范圍：60mm

    調(diào)節(jié)精度：0.1mm