1.設(shè)備名稱：

    常溫大間距高真空混合氣體針板放電試驗(yàn)裝置

2.設(shè)備功能：

    在高真空條件下，注入低氣壓試驗(yàn)介質(zhì)氣體，然后施加設(shè)定的高電壓，實(shí)現(xiàn)針板電暈放電，并對(duì)放電過(guò)程特性進(jìn)行測(cè)試。內(nèi)部垂直方向安裝了針板放電電極組，針電極在上通過(guò)腔體上部的真空高電壓絕緣子引入高電壓，板電極在下通過(guò)專門設(shè)計(jì)的地電極接地，板電極在垂直方向高低可調(diào)。充氣過(guò)程的充氣壓力可以實(shí)現(xiàn)高精度調(diào)節(jié)。

3.設(shè)備特點(diǎn)：

   ①.設(shè)備具有一個(gè)高真空腔體，腔體容積約120L。采用了上下球罐封頭的立式結(jié)構(gòu)腔體。沿圓周方向設(shè)置了3個(gè)石英玻璃視鏡，方便觀察和攝像，其中兩個(gè)互相垂直，另外的呈對(duì)視布置。設(shè)置了一個(gè)手孔開(kāi)門，采用吊裝式開(kāi)門機(jī)構(gòu)。腔體上方有高電壓引入的絕緣子，引入電壓100KV。裝置配置了油封旋片式雙級(jí)真空泵，以及高真空分子泵系統(tǒng)，并安裝了電阻真空規(guī)、電離真空規(guī)、低氣壓壓力傳感器、低氣壓復(fù)合壓力表、低氣壓濕度傳感器等以滿足不同試驗(yàn)氣壓值分段的高精度測(cè)量。腔體內(nèi)部進(jìn)行了拋光處理。腔體分別連接了真空抽氣通路和工藝氣體的充氣通路。

   ②.內(nèi)部板電極運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用了絲杠螺套式調(diào)節(jié)方式。通過(guò)精密加工和在軸向以及旋鈕圓周的高精度刻度線，可以實(shí)現(xiàn)針板距離調(diào)節(jié)滿足Z小1.5mm移動(dòng)精度。

   ③.為了滿足高精度的充氣氣壓要求，充氣過(guò)程通過(guò)一組三個(gè)高精度真空微調(diào)閥來(lái)進(jìn)行。通過(guò)微調(diào)閥開(kāi)度的控制可以將充氣壓力過(guò)程的控制精度到2Pa，有效地防止了過(guò)充造成的試驗(yàn)數(shù)據(jù)不穩(wěn)定。另外試驗(yàn)過(guò)程可能采用多元混合氣體，所以裝置安裝了三個(gè)真空微調(diào)閥以滿足同時(shí)對(duì)不同氣體進(jìn)行充裝作業(yè)。

   ④.系統(tǒng)抽氣泵配置了油封旋片式雙級(jí)真空泵做前級(jí)泵和高性能高真空分子泵做主泵的分子泵抽氣系統(tǒng)。充氣介質(zhì)氣體采用了瓶裝氣體。

   ⑤.腔體充氣通路閥門采用了高真空手動(dòng)蝶閥，抽氣通路采用了高真空手動(dòng)擋板閥，滿足系統(tǒng)高真空的技術(shù)要求。

   ⑥.腔體設(shè)置了視鏡法蘭的輔助抽氣通路，以便減少視鏡法蘭密封的泄漏和放氣量，達(dá)到系統(tǒng)高真空的技術(shù)要求。

   ⑦.裝置設(shè)計(jì)了成套的PLC控制系統(tǒng)用來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)抽氣系統(tǒng)的自動(dòng)連鎖控制?？刂葡到y(tǒng)具有低真空和高真空兩檔控制，根據(jù)需要可以分別使用。當(dāng)需要進(jìn)行低真空試驗(yàn)時(shí)，用低真空檔控制系統(tǒng)只啟動(dòng)旋片泵。當(dāng)進(jìn)行高真空試驗(yàn)時(shí)系統(tǒng)將按照程序順序啟動(dòng)旋片泵和分子泵。控制系統(tǒng)還設(shè)置的分子泵泵前的壓力檢測(cè)以方便觀察泵系統(tǒng)的工作狀態(tài)，方便進(jìn)行故障監(jiān)測(cè)。

4.設(shè)備主要性能：

    ①.真空性能

    低真空狀態(tài)工作：0.2Pa

    高真空工作狀態(tài)：動(dòng)態(tài)極限4×10^-4Pa

    設(shè)備總體漏率：8×10^-5Pa·m³/s

    ②.正壓試驗(yàn)壓力

    壓力：0.2MPa

    正常試驗(yàn)壓力：0.1MPa

    ③.接入電壓

    100KV

    ④.針板距調(diào)節(jié)

    調(diào)節(jié)范圍：300mm

    調(diào)節(jié)精度：1.5mm

    ⑤.控制方式

    泵PLC程序控制

    閥門手動(dòng)

    針板距調(diào)節(jié)手動(dòng)