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上海翰軍實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>>H-CVD-1200RCVD高真空快速退火爐

CVD高真空快速退火爐

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  • 型號(hào) H-CVD-1200R
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 所在地 上海

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更新時(shí)間:2023-12-22 12:06:28瀏覽次數(shù):290

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

一、概述:這款配置的高真空CVD系統(tǒng)集快速紅外加熱爐,2通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成

詳細(xì)介紹

一、概述:

     這款配置的真空CVD系統(tǒng)集快速紅外加熱爐,2通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。真空系統(tǒng)采用中科科儀FJ-110機(jī)組??刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù),具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡(jiǎn)單易操作等特點(diǎn)。本套系統(tǒng)用于CVD退火,也可以應(yīng)用于于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

 

二、主要技術(shù)參數(shù)

快速紅外加熱爐

電壓

AC3800V    50/60Hz

功率

24KW

加熱區(qū)長(zhǎng)

400mm

使用溫度

1100

工作溫度

1000

升溫速率:

300/min

溫控系統(tǒng)

PID自動(dòng)控制晶閘管(可控硅)輸出功率, 30段可編程控制器,

恒溫精度

±5

石英管

Φ50/60/80100*1400mm

兩路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

 

電壓

185~245V/50Hz

輸出功率:

18W

流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程

300SCCM

工作溫度:

5~45 oC

工作壓差:

0.10.5 MPa

壓力:

3Mpa

準(zhǔn)確度:

±1.5% FS

真空系統(tǒng)

 

產(chǎn)品型號(hào):F-100/150型渦輪分子泵

廠家: 中科科儀

技術(shù)參數(shù):

抽速速率(l/s)150

進(jìn)氣口法蘭:LF100(ISO-K)

排氣口法蘭:KF25

壓縮比:N2: 108  H25X10102

建議啟動(dòng)壓強(qiáng):<100pa

額定轉(zhuǎn)速(rpm):42300

啟動(dòng)時(shí)間(min):≤2

冷卻方式:風(fēng)冷

冷卻溫度(℃):≤25

安裝方式:水平或者垂直

重量:8kg

2.2干泵:

產(chǎn)品型號(hào):GWSP300

廠家:沈陽紀(jì)維,

技術(shù)參數(shù):

極限真空度 Pa 2.60

排氣速度 l/s 4.30

      m3/h 15.5

噪音值 dB(A) 60

漏率(排氣口和氣鎮(zhèn)閥關(guān)) Pa·m3/s 1×10-8

進(jìn)/排氣壓力 MPa 0.1 /0.13

進(jìn)/排氣口尺寸 KF25/KF16

工作環(huán)境溫度  540

冷卻方式 風(fēng)冷

單相電機(jī) 功率 0.55

電壓 V      200230V, 50Hz

轉(zhuǎn)速 rpm 1425(50Hz),

接頭形式 國(guó)標(biāo)、

轉(zhuǎn)速 rpm 1425(50Hz),

外形尺寸  495×305×355

凈重 單相 kg 27

其他 帶氣鎮(zhèn)閥

電阻真空計(jì):

測(cè)量范圍:(1.0x105~1.0x10-1)pa

配備規(guī)管:ZJ-52T(可選擇接口)

測(cè)量路數(shù):1

顯示方式:LED數(shù)碼顯示或雙顯(可選)

電源:AC220V±10%50HZ

攻耗:20W

重量:≤1KG

機(jī)箱尺寸:96*96

控制路數(shù):2路(可擴(kuò)展)

控制范圍:(1.0x105~1.0x10-1)pa

控制方式:點(diǎn)控或區(qū)域控制

控制點(diǎn)負(fù)載能力:AC220V/3A無感負(fù)載

測(cè)量精度:±30%

響應(yīng)時(shí)間:<1S

模擬輸出:(0~5V;(4~20mA(選配)

通訊接口:RS-232;RS-485(選配)

法蘭及支撐

 

304不銹鋼快速水冷法蘭,長(zhǎng)期水冷無腐蝕一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合,4個(gè)密封硅膠圈等

可選配件

混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉坩堝,石英管,計(jì)算機(jī)控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀,冷卻水循環(huán)機(jī)等。


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