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上海翰軍實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>>HCV-1100R快速升溫CVD系統(tǒng)

快速升溫CVD系統(tǒng)

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  • 型號(hào) HCV-1100R
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 所在地 上海

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更新時(shí)間:2023-12-22 12:04:43瀏覽次數(shù):238

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一、概述:這款配置的高真空CVD系統(tǒng)集快速紅外加熱爐,2通道氣路系統(tǒng)和低真空系統(tǒng)組成

詳細(xì)介紹

一、概述:

   這款配置的高真空CVD系統(tǒng)集快速紅外加熱爐,2通道氣路系統(tǒng)和低真空系統(tǒng)組成??刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù),具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡(jiǎn)單易操作等特點(diǎn)。本套系統(tǒng)用于CVD退火,也可以應(yīng)用于于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

二、主要技術(shù)參數(shù)

1200加熱爐

電壓

AC380V    50/60Hz

功率

24KW

加熱區(qū)長(zhǎng)

400mm

使用溫度

1100℃

工作溫度

≤1000℃

升溫速率:

≤600℃/min

溫控系統(tǒng)

PID自動(dòng)控制晶閘管(可控硅)輸出功率, 30段可編程控制器,

恒溫精度

±5

石英管

Φ50/60/80/100*1400mm

兩路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

 

電壓

185~24V/50Hz

輸出功率:

18W

流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程

300SCCM

工作溫度:

5~45 oC

工作壓差:

0.1~0.5 MPa

壓力:

3Mpa

準(zhǔn)確度:

±1.5% FS

真空系統(tǒng)

 

1.采用雙極旋片真空泵,真空度可達(dá)5×10-1 Torr不銹鋼充油真空壓力表,良好的抗震性

2.安裝過濾器

法蘭及支撐

 

304不銹鋼快速水冷法蘭,長(zhǎng)期水冷無腐蝕一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合,4個(gè)密封硅膠圈等

可選配件

 

混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉坩堝,石英管,計(jì)算機(jī)控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀,冷卻水循環(huán)機(jī)等。

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