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滑動式CVD系統(tǒng)

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  • 型號 H-CVD-1200
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 所在地 上海

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更新時間:2023-12-22 12:02:58瀏覽次數(shù):229

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產(chǎn)品簡介

概述:這款配置的低真空CVD系統(tǒng)集1200℃真空管式爐,3通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成,可根據(jù)用戶需要設計生產(chǎn)(有雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)),可預抽真空(有高真空、低真空),通多種氣氛(供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量控制器和浮子流量控制器)

詳細介紹

概述:

這款配置的低真空CVD系統(tǒng)集1200℃真空管式爐,3通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成,可根據(jù)用戶需要設計生產(chǎn)

(有雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)),可預抽真空(有高真空、低真空),通多種氣氛(供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量控制

器和浮子流量控制器)。真空泵、閥均采用進口設備,性能可靠??刂齐娐愤x用模糊PID程控技術,具有控溫

精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡單易操作等特點。CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷

基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。

主要技術參數(shù):

1200雙溫區(qū)加熱爐

電壓

AC220V    50/60Hz

功率

4.5KW雙溫控

加熱區(qū)長

220mm,恒溫區(qū)長度:100mm

溫度

1150℃

工作溫度

≤1100℃

升溫速率:

≤15℃/min

溫控系統(tǒng)

PID自動控制晶閘管(可控硅)輸出功率, 30段可編程控制器

恒溫精度

±1℃

石英管

φ

25/50/60/80*1400mm

 

 

 

三路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

 

 

 

 

 

 

電壓

185~245V/50Hz

輸出功率:

18W

流量計標準量程:

50,100 ,200,500SCCM;(非特殊以氮氣標定,量程可選定)

工作溫度:

5~45 oC

工作壓差:

0.1~0.5 MPa

壓力:

3Mpa

準確度:

±1.5% FS

 

低真空系統(tǒng)

 

1.采用雙極旋片真空泵,真空度可達5×10-1 Torr不銹鋼充油真空壓力表,良好的抗震性

2.安裝過濾器

內(nèi)置測溫系統(tǒng)

測溫元件可從加熱區(qū)邊緣延伸至溫區(qū)中心法蘭密封,保證爐管的密封性測溫元件: N型熱電偶

法蘭及支撐

304不銹鋼快速水冷法蘭,長期水冷無腐蝕一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合,4個密封硅膠圈等

可選配件

混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉坩堝,石英管,計算機控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀,冷卻水循環(huán)機等。

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