雙溫區(qū)PECVD實(shí)驗(yàn)室設(shè)備由滑動(dòng)式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成,溫度可以達(dá)到1400度,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)：
1400度雙溫區(qū)cvd實(shí)驗(yàn)室設(shè)備由滑動(dòng)式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ，溫度可以達(dá)到1400度，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)，可以對(duì)多種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
滑動(dòng)式快速退火管式爐爐管兩端安裝真空法蘭，真空度用分子泵可以到10-5Torr，機(jī)械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對(duì)滑軌，可用手動(dòng)滑動(dòng)。加熱和冷卻速率可達(dá)100°C/m。為取得加熱，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得冷卻，可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/s，是低成本快速熱處理的理想爐子。
軟件控制系統(tǒng)：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái)，隨時(shí)可以調(diào)出。
產(chǎn)品用途：
1400度雙溫區(qū)cvd實(shí)驗(yàn)室設(shè)備是一種特殊的高真空CVD系統(tǒng)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
產(chǎn)品參數(shù)：

• 產(chǎn)品型號(hào)：S-1400PC
• 氣路控制：浮子流量計(jì)/質(zhì)量流量計(jì)
• 真空系統(tǒng)：旋片泵/擴(kuò)散泵/分子泵
• 可選配件：水冷機(jī)/數(shù)顯真空計(jì)
• 溫度：1400℃(可定制)
• 工作溫度：≤1300℃(可定制)
• 加熱元件：優(yōu)質(zhì)硅碳棒
• 溫控方式：智能化30段PID微電腦可編程控制
• 溫控保護(hù)：具有超溫及斷偶報(bào)警功能
• 熱電偶：S型
• 爐膛材質(zhì)：高純氧化鋁多晶纖維
• 加熱速率：0-20℃/分
• 恒溫精度：±1℃
• 均勻性：±5℃
• 極限真空：6.0×10-5Pa
• 工作真空：7.6×10-4Pa
• 爐殼結(jié)構(gòu)：雙層殼體帶風(fēng)冷系統(tǒng)
• 額定功率：5Kw
• 供電電源：110-480V 50/60Hz
• 售后服務(wù)：12個(gè)月質(zhì)保，終身保修(易損件除外)