三溫區(qū)PECVD實(shí)驗(yàn)室設(shè)備由單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)子流量計(jì)、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成PECVD設(shè)備是借助于光放電等方法產(chǎn)生等離子體

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)：
1700度三溫區(qū)CVD實(shí)驗(yàn)室設(shè)備由單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)子流量計(jì)、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成
CVD設(shè)備是借助于光放電等方法產(chǎn)生等離子體，光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn)，工藝流程簡單。
軟件控制系統(tǒng)：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時(shí)可以調(diào)出。
產(chǎn)品用途：
1700度三溫區(qū)cvd實(shí)驗(yàn)室設(shè)備是一種特殊的高真空CVD系統(tǒng)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
產(chǎn)品參數(shù)：

• 產(chǎn)品型號(hào)：S-1700PC
• 氣路控制：浮子流量計(jì)/質(zhì)量流量計(jì)
• 真空系統(tǒng)：旋片泵/擴(kuò)散泵/分子泵
• 可選配件：水冷機(jī)/數(shù)顯真空計(jì)
• 溫度：1700℃(可定制)
• 工作溫度：≤1600℃(可定制)
• 加熱元件：優(yōu)質(zhì)硅鉬棒
• 溫控方式：智能化30段PID微電腦可編程控制
• 溫控保護(hù)：具有超溫及斷偶報(bào)警功能
• 熱電偶：B型
• 爐膛材質(zhì)：高純氧化鋁多晶纖維
• 加熱速率：0-20℃/分
• 恒溫精度：±1℃
• 均勻性：±5℃
• 極限真空：6.0×10-5Pa
• 工作真空：7.6×10-4Pa
• 爐殼結(jié)構(gòu)：雙層殼體帶風(fēng)冷系統(tǒng)
• 額定功率：6Kw
• 供電電源：110-480V 50/60Hz
• 售后服務(wù)：12個(gè)月質(zhì)保，終身保修(易損件除外)