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成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司
標(biāo)準(zhǔn)會(huì)員 | 第18年

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HMPS-2060SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地成都市

聯(lián)系方式：季天仁查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-11-09 10:59:35瀏覽次數(shù)：219次

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HMPS-2060SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng) 成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司是專(zhuān)業(yè)從事微波能、微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研發(fā)及其設(shè)備生產(chǎn)、具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的企業(yè)。公司近年已為中科院、中物院、吉林大學(xué)、南京大學(xué)、四川大學(xué)等、寧波晶鉆公司、北京沃爾德公司等科研院所、企業(yè)以及國(guó)外客戶(hù)提供了近百臺(tái)MPCVD設(shè)備，憑借產(chǎn)品優(yōu)異的性能和高質(zhì)量的服務(wù)，公司獲得用戶(hù)廣泛認(rèn)可和好評(píng)。
性能特點(diǎn)

◆高品質(zhì)單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長(zhǎng)。
◆多種薄膜的CVD制備、材料表面處理和改性、低溫氧化物的生長(zhǎng)等。
◆第三代高穩(wěn)定固態(tài)功率源；上饋式圓柱型放電腔；
◆適合光學(xué)、電子、工具級(jí)金剛石膜或單晶、石墨烯等的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長(zhǎng)等。
◆性能*，安全、可靠性強(qiáng)、重現(xiàn)性好，操作簡(jiǎn)便。
◆多參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、采集與記錄，PLC屏幕控制，多重聯(lián)鎖保護(hù)。

技術(shù)指標(biāo)
（1） 型號(hào) HMPS-2060SP
（2） 電源 AC380±10% V 三相五線制 50Hz，額定輸入＜18KVA
（3） 微波輸出功率 0.5~6kW 連續(xù)可調(diào)
（4） 功率穩(wěn)定度 1%（@穩(wěn)態(tài)）
（5） 紋波 ≤1%
（6） 微波頻率 2450MHz±50MHz
（7） 測(cè)溫方式 紅外300~1400℃
（8） 極限真空度 6×10-6torr
（9） 腔體內(nèi)工作壓力 7torr~250torr
（10） 樣品臺(tái) Φ60mm
（11） 樣品臺(tái)軸向調(diào)節(jié)范圍 0-60mm
（12） 工作氣氛 五路（可用戶(hù)定制）
（13） 微波泄漏值 ＜5mW/cm2
（14） 工作環(huán)境 溫度15-40℃，相對(duì)濕度≤60%，無(wú)腐蝕性氣體
（15） 冷卻水 ＞37L/Min

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