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詳細(xì)介紹
■ 產(chǎn)品優(yōu)勢：
◎ 高精度的圖像自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的測量結(jié)果和精確度是很可靠的，沒有人為的因素。
◎ 通過電腦控制，可以完成多點(diǎn)的自動(dòng)連續(xù)測量，高級(jí)的資料處理軟體可以極大的提高測量時(shí)間。
功能： 非接觸測量微細(xì)的撞擊、臺(tái)階等。
◎ 通過高精度的光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測和精確的聚 焦指示器完成高精確的測量
◎ 簡單的操作
◎ Z軸測量行程可從幾個(gè)μm 到10mm
◎ 同時(shí)還可以完成測量點(diǎn)的表面觀察 觀 測 頭： 三目 Z軸測量范圍： 0.1μm 讀數(shù)，10mm 行程 Z軸測量精度： 3σ=1μm (40×) 光學(xué)鏡身： 精確的自動(dòng)聚焦單元 物 鏡： 5× - 100× 測量軟體： 4種模式 資料處理軟體： 顯示值，最小值，平均值，標(biāo)準(zhǔn)偏差值等
應(yīng)用領(lǐng)域
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