詳細(xì)介紹
■ 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
◎ 高精度的圖像自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的測(cè)量結(jié)果和精確度是很可靠的,沒(méi)有人為的因素。
◎ 通過(guò)電腦控制,可以完成多點(diǎn)的自動(dòng)連續(xù)測(cè)量,高級(jí)的資料處理軟體可以極大的提高測(cè)量時(shí)間。
功能: 非接觸測(cè)量微細(xì)的撞擊、臺(tái)階等。
◎ 通過(guò)高精度的光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測(cè)和精確的聚 焦指示器完成高精確的測(cè)量
◎ 簡(jiǎn)單的操作
◎ Z軸測(cè)量行程可從幾個(gè)μm 到10mm
◎ 同時(shí)還可以完成測(cè)量點(diǎn)的表面觀察 觀 測(cè) 頭: 三目 Z軸測(cè)量范圍: 0.1μm 讀數(shù),10mm 行程 Z軸測(cè)量精度: 3σ=1μm (40×) 光學(xué)鏡身: 精確的自動(dòng)聚焦單元 物 鏡: 5× - 100× 測(cè)量軟體: 4種模式 資料處理軟體: 顯示值,最小值,平均值,標(biāo)準(zhǔn)偏差值等
應(yīng)用領(lǐng)域
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