詳細(xì)介紹
WOP公司的FemtoFAB 是專為特定工業(yè)過(guò)程設(shè)計(jì)的交鑰匙激光工作站——高度可靠,在高速、超高精度、無(wú)熔體微加工方面具有顯著優(yōu)勢(shì)。根據(jù)特定的激光微加工應(yīng)用選擇和仔細(xì)調(diào)整配置。該系統(tǒng)受到 1 類等效激光安全外殼的保護(hù),并通過(guò)高級(jí) SCA 工程師軟件窗口進(jìn)行控制。
主要特點(diǎn)
高制造速度 - 高達(dá) 300 mm/s(可根據(jù)要求提供更多)
制造具有亞微米分辨率的復(fù)雜物體
高性能振鏡掃描儀
脈沖密度控制
亞微米精度的精確物體定位
物體運(yùn)動(dòng)和激光脈沖在時(shí)間和空間上的同步。
的軟件接口控制所有硬件單元
配置
激光源
樣品定位系統(tǒng)
光束傳輸和掃描單元
激光功率和偏振控制
系統(tǒng)控制軟件(根據(jù)要求提供自動(dòng)對(duì)焦和機(jī)器視覺(jué))
樣品架和特殊機(jī)械裝置(根據(jù)要求提供樣品處理自動(dòng)化)
光學(xué)平臺(tái)
外殼(全部或部分)
除塵單元
激光系統(tǒng)通過(guò)微加工軟件 SCA 實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。
該軟件是激光系統(tǒng)的重要組成部分,不單獨(dú)出售。
參數(shù) | 數(shù)值 |
脈沖持續(xù)時(shí)間 | 200 fs – 10 ps |
重復(fù)頻率 | 1 kHz – 1 MHz |
平均功率 | 高達(dá) 20W |
脈沖能量 | 高達(dá) 2 mJ |
波長(zhǎng) | 1030 nm、515 nm、343 nm、258 nm、206 nm |
定位精度 | ± 250 nm |
行程范圍 | 從 25×25 mm到 300×300 mm(根據(jù)要求更大) |
應(yīng)用
激光微鉆孔
激光微切割和劃片
激光微打標(biāo)
表面結(jié)構(gòu)

玻璃墊片 鋼化玻璃切割

藍(lán)寶石批量打標(biāo) 鈦涂層選擇性燒蝕
制藥網(wǎng)






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