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FemtoFAB---工業(yè)用激光工作站

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WOP公司的FemtoFAB是專為特定工業(yè)過(guò)程設(shè)計(jì)的交鑰匙激光工作站——高度可靠,在高速、超高精度、無(wú)熔體微加工方面具有顯著優(yōu)勢(shì)

詳細(xì)介紹

WOP公司的FemtoFAB 是專為特定工業(yè)過(guò)程設(shè)計(jì)的交鑰匙激光工作站——高度可靠,在高速、超高精度、無(wú)熔體微加工方面具有顯著優(yōu)勢(shì)。根據(jù)特定的激光微加工應(yīng)用選擇和仔細(xì)調(diào)整配置。該系統(tǒng)受到 1 類等效激光安全外殼的保護(hù),并通過(guò)高級(jí) SCA 工程師軟件窗口進(jìn)行控制。


 

主要特點(diǎn)

  •  高制造速度 - 高達(dá) 300 mm/s(可根據(jù)要求提供更多)

  •  制造具有亞微米分辨率的復(fù)雜物體

  •  高性能振鏡掃描儀

  •  脈沖密度控制

  •  亞微米精度的精確物體定位

  •  物體運(yùn)動(dòng)和激光脈沖在時(shí)間和空間上的同步。

  •  的軟件接口控制所有硬件單元

 

配置

  •  激光源

  •  樣品定位系統(tǒng)

  •  光束傳輸和掃描單元

  •  激光功率和偏振控制

  •  系統(tǒng)控制軟件(根據(jù)要求提供自動(dòng)對(duì)焦和機(jī)器視覺(jué))

  •  樣品架和特殊機(jī)械裝置(根據(jù)要求提供樣品處理自動(dòng)化)

  •  光學(xué)平臺(tái)

  •  外殼(全部或部分)

  •  除塵單元

  •  激光系統(tǒng)通過(guò)微加工軟件 SCA 實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。

  •  該軟件是激光系統(tǒng)的重要組成部分,不單獨(dú)出售。

 

參數(shù)

數(shù)值

脈沖持續(xù)時(shí)間

200 fs – 10 ps

重復(fù)頻率

1 kHz – 1 MHz

平均功率

高達(dá) 20W

脈沖能量

高達(dá) 2 mJ

波長(zhǎng)

1030 nm、515 nm、343 nm、258 nm、206   nm

定位精度

± 250 nm

行程范圍

從 25×25 mm到   300×300 mm(根據(jù)要求更大)

 

應(yīng)用

激光微鉆孔

激光微切割和劃片

激光微打標(biāo)

表面結(jié)構(gòu)

 

   

                                 玻璃墊片                                                             鋼化玻璃切割

   

      藍(lán)寶石批量打標(biāo)                                                     鈦涂層選擇性燒蝕

 

 


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