日立超高分辨率冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡現(xiàn)有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流。

通過優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還*了用戶支持功能，通過此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號的檢測原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。

日立超高分辨率冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡樣品圖示

極低著陸電壓下高分辨觀察

樣品：金顆粒
著陸電壓：10 V

超高分辨觀察

樣品：Pt催化劑
加速電壓：30 kV

低加速電壓下高分辨EDX分析

樣品：Sn球
著陸電壓：1.5 kV

• *2

• Regulus8240/8230/8220