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詳細介紹
MKS GM50A金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器，滿量程范圍從5 sccm – 50 slm，精度為設(shè)定值的±1%、相應(yīng)速度快于700毫秒、不同氣體及量程間自由切換。1.5吋寬度（GM51A除外）。EtherNet用戶通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬（0-5V或4-20mA）和數(shù)字（RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus）通訊接口可選。
GM50A是一種金屬密封的質(zhì)量流量控制器，可在多種應(yīng)用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。
對于當(dāng)今市場上的質(zhì)量流量控制器，GM50A可作為直接替代的產(chǎn)品，標(biāo)準(zhǔn)的3英寸底座使GE50A能夠直接進行安裝而無需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1%。
技術(shù)參數(shù)：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，50000SCCM。
控制量程：2% to 99%的全量程。
測量精度：全量程的1%
靈敏度：全量程的0.1%
熱機時間：小于2Min.
響應(yīng)速度：小于2Sec.
輸入電壓：±15VDC@100ma
輸出電壓：0-5VDC
連接器：模擬：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
數(shù)字：RS485或Device net或Profibus
法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4"等
材質(zhì)：316不銹鋼。
例：型號GM50A013502R6M010(代表的是氣體介質(zhì)是氮氣，流量是500sccm，配件法蘭接口是Swagelok 4VCR male，通訊接口是DeviceNet，密封材料是金屬密封）
GM50A質(zhì)量流量控制器 采購系列號GM50A
用于標(biāo)準(zhǔn)的氣體(SEMI Gas編號）
| 氮氣，N2 | 013 |
| 氨氣，NH3 | 029 |
| 六氟化硫，SF6 | 110 |
流量范圍，SCCM滿量程（相當(dāng)于氮氣）
| 5 | 500 |
| 10 | 101 |
| 20 | 201 |
| 50 | 501 |
| 100 | 102 |
| 200 | 202 |
| 500 | 502 |
| 1000 | 103 |
| 2000 | 203 |
| 5000 | 503 |
| 10000 | 104 |
| 20000 | 204 |
| 30000 | 304 |
| 50000 | 504 |
裝配件（法蘭接口）
| Swagelok 4VCR male | R |
| 1/4 Swagelok | S |
| | |
| | |
通訊接口
| Profibus | 4 |
| RS485 | 5 |
| DeviceNet | 6 |
| Analog 0 to 5 VDC（9針D型） | A |
| Analog 0 to 5VDC （15針D型） | B |
| Analog 4 to mA（15針D型） | H |
密封材料
| 標(biāo)配：金屬 | M |
| | |
| | |
| | |
預(yù)留MKS的未來應(yīng)用
| 標(biāo)準(zhǔn) | 0 |
固化軟件版本
| 除非另有說明，MKS會安裝訂貨日期的固化版本軟件 | 10 |
滿量程流量為3位數(shù)字顯示，前兩位表示量程流量的有效數(shù)字，由小數(shù)點分開；第三位表示10的指數(shù)
注：氣體可選，替代MKS 1479A質(zhì)量流量控制器
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