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詳細(xì)介紹
MKS GE50A橡膠密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器，滿量程范圍從5sccm–50slm，精度為設(shè)定值的±1%、相應(yīng)速度快于700毫秒、不同氣體及量程間自由切換。1.5吋寬度（GM51A除外）。EtherNet用戶通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬（0-5V或4-20mA）和數(shù)字（RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus）通訊接口可選。
MKS GE50A通用橡膠密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器精度為設(shè)定值的± 1%，相應(yīng)速度快于500毫秒，不同氣體及量程間自由切換。通過一個(gè)*的數(shù)字算法，實(shí)現(xiàn)了精度的實(shí)時(shí)流量控制。與通常基于PID的數(shù)字MFC相比，它由于能實(shí)現(xiàn)工藝氣體流量的實(shí)時(shí)控制而極大提供了控制精度，具有更好的工藝腔室匹配性。
基于EtherNet 用戶通訊口網(wǎng)絡(luò)的游覽界面使客戶可以實(shí)時(shí)地進(jìn)行控制器的設(shè)置和故障排除，從而減少了對“"MFC的替換并且無需中斷工藝氣體輸送。
例：型號GE50A013502R6V010(代表的是氣體介質(zhì)是氮?dú)猓髁渴?00sccm，配件法蘭接口是Swagelok 4VCR male，通訊接口是DeviceNet，密封材料是Viton橡膠密封）
GE50A質(zhì)量流量控制器 采購系列號GE50A
用于標(biāo)準(zhǔn)的氣體(SEMI Gas編號）
| 氮?dú)?，N2 | 013 |
| 氨氣，NH3 | 029 |
| 六氟化硫，SF6 | 110 |
流量范圍，SCCM滿量程（相當(dāng)于氮?dú)猓?/span>
| 5 | 500 |
| 10 | 101 |
| 20 | 201 |
| 50 | 501 |
| 100 | 102 |
| 200 | 202 |
| 500 | 502 |
| 1000 | 103 |
| 2000 | 203 |
| 5000 | 503 |
| 10000 | 104 |
| 20000 | 204 |
| 30000 | 304 |
| 50000 | 504 |
裝配件（法蘭接口）
| Swagelok 4VCR male | R |
| 1/4 Swagelok | S |
| C-Seal,(92mm port to port) | C |
| W-Seal,(92mm port to port) | H |
通訊接口
| Profibus | 4 |
| RS485 | 5 |
| DeviceNet | 6 |
| Analog 0 to 5 VDC（9針D型） | A |
| Analog 0 to 5VDC （15針D型） | B |
| Analog 4 to mA（15針D型） | H |
密封材料
| 標(biāo)配：Viton | V |
| 選配：Neoprene | N |
| 選配：Buna-N | B |
| 選配：Kalrez | K |
預(yù)留MKS的未來應(yīng)用
| 標(biāo)準(zhǔn) | 0 |
固化軟件版本
| 除非另有說明，MKS會安裝訂貨日期的固化版本軟件 | 10 |
滿量程流量為3位數(shù)字顯示，前兩位表示量程流量的有效數(shù)字，由小數(shù)點(diǎn)分開；第三位表示10的指數(shù)
注：其他氣體可選，替代MKS 1179A質(zhì)量流量控制器
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