1.降溫方式：風(fēng)冷+水冷降溫，任何降溫時(shí)間降溫速率均不可大于5℃；

2.控氧系統(tǒng)（采用氧分析儀精準(zhǔn)控制）：高溫狀態(tài)氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量

3.控溫穩(wěn)定度：±0.5℃；

4.溫度均勻度：±1.5%℃（300℃平臺(tái)，恒溫15min后檢測(cè)）；超溫控制：200℃以?xún)?nèi)≤3℃，200-300℃≤5℃；

5.控制：腔體可獨(dú)控溫、氧含量，通氣、報(bào)警保護(hù)；

6潔凈度：Class100（0.3μm顆粒增長(zhǎng) ≤100ea，0.5μm顆粒增長(zhǎng) ≤100ea,采用高效過(guò)濾器過(guò)濾氣體中的顆粒雜質(zhì)，過(guò)濾效果可達(dá)99.997%）；

7操作界面：需要有設(shè)置OP,ENG,OEM權(quán)限（OP可查看recipe，點(diǎn)擊啟動(dòng)、停止按鈕，查看報(bào)警、運(yùn)行記錄；ENG：除OP權(quán)限外，增加修改recipe，導(dǎo)出作業(yè)記錄功能；OEM:除ENG權(quán)限外增加手動(dòng)控制各單元按鈕）；

7設(shè)備運(yùn)行記錄可用USB端口導(dǎo)出excel格式記錄（需顯示開(kāi)始、結(jié)束事件，烘烤程序名稱(chēng)，運(yùn)行過(guò)程氧含量狀況等記錄），記錄可保存至少15天；作業(yè)記錄界面同樣也可顯示以上信息；