1.降溫方式：風(fēng)冷+水冷降溫，任何降溫時間降溫速率均不可大于5℃；

2.控氧系統(tǒng)（采用氧分析儀精準(zhǔn)控制）：高溫狀態(tài)氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量

3.控溫穩(wěn)定度：±0.5℃；

4.溫度均勻度：±1.5%℃（300℃平臺，恒溫15min后檢測）；超溫控制：200℃以內(nèi)≤3℃，200-300℃≤5℃；

5.控制：腔體可獨(dú)控溫、氧含量，通氣、報警保護(hù)；

6潔凈度：Class100（0.3μm顆粒增長 ≤100ea，0.5μm顆粒增長 ≤100ea,采用高效過濾器過濾氣體中的顆粒雜質(zhì)，過濾效果可達(dá)99.997%）；

7操作界面：需要有設(shè)置OP,ENG,OEM權(quán)限（OP可查看recipe，點(diǎn)擊啟動、停止按鈕，查看報警、運(yùn)行記錄；ENG：除OP權(quán)限外，增加修改recipe，導(dǎo)出作業(yè)記錄功能；OEM:除ENG權(quán)限外增加手動控制各單元按鈕）；

7設(shè)備運(yùn)行記錄可用USB端口導(dǎo)出excel格式記錄（需顯示開始、結(jié)束事件，烘烤程序名稱，運(yùn)行過程氧含量狀況等記錄），記錄可保存至少15天；作業(yè)記錄界面同樣也可顯示以上信息；