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詳細(xì)介紹
一、設(shè)備用途
本尾氣處理裝置主要用于擴(kuò)散爐與RIE（反應(yīng)等離子體刻蝕）、PECVD等設(shè)備的工藝廢氣的處理，達(dá)到直接排放大氣達(dá)到環(huán)保與安全排放的目的。
尾氣處理原理：燃燒+水噴淋
燃燒：采用電加熱方式，有毒氣體等與氧氣燃燒反應(yīng)生成無毒的物質(zhì)及易溶于水的物質(zhì)，排放物為無毒無害的氣體；
濕法：多級水噴淋，使易溶于水或與水反應(yīng)生成沉積的物質(zhì)，已達(dá)到有毒腐蝕易燃易爆的氣體完整回收。
二、主要技術(shù)參數(shù)
1、主機(jī)外形尺寸（參考）：740mmW×790mmD×1800mmH；
2、供電：三相四線/380VAC/50HZ/10KW
3、處理能力：≤100SLM
4、設(shè)備的排風(fēng)口：￠100mm，1000LPM
5 、進(jìn)氣管道：2 進(jìn)口 KF50,可連接 2 臺設(shè)備的尾氣處理，排
氣管道為 KF80（可應(yīng)用戶的規(guī)格調(diào)整）
6、氣路管件：1/4”及 3/8”不銹鋼管道為耐腐蝕級（CARDINAL/SANDVIK）、燃燒室采用耐高溫310不銹鋼，及噴淋室為 耐腐蝕的PVDF材料，
閥門采用耐腐蝕PVC材料、塑料管道采用優(yōu)質(zhì) PVDF 材料，泵采用耐腐蝕水循環(huán)泵、連接口采用標(biāo)準(zhǔn)的 KF 連接及 VCR、卡套等接口及自動軌道焊接。
7、控制方式：PLC+觸摸屏（帶有自動與手動功能）
本尾氣處理裝置主要用于擴(kuò)散爐與RIE（反應(yīng)等離子體刻蝕）、PECVD等設(shè)備的工藝廢氣的處理，達(dá)到直接排放大氣達(dá)到環(huán)保與安全排放的目的。
尾氣處理原理：燃燒+水噴淋
燃燒：采用電加熱方式，有毒氣體等與氧氣燃燒反應(yīng)生成無毒的物質(zhì)及易溶于水的物質(zhì)，排放物為無毒無害的氣體；
濕法：多級水噴淋，使易溶于水或與水反應(yīng)生成沉積的物質(zhì)，已達(dá)到有毒腐蝕易燃易爆的氣體完整回收。
二、主要技術(shù)參數(shù)
1、主機(jī)外形尺寸（參考）：740mmW×790mmD×1800mmH；
2、供電：三相四線/380VAC/50HZ/10KW
3、處理能力：≤100SLM
4、設(shè)備的排風(fēng)口：￠100mm，1000LPM
5 、進(jìn)氣管道：2 進(jìn)口 KF50,可連接 2 臺設(shè)備的尾氣處理，排
氣管道為 KF80（可應(yīng)用戶的規(guī)格調(diào)整）
6、氣路管件：1/4”及 3/8”不銹鋼管道為耐腐蝕級（CARDINAL/SANDVIK）、燃燒室采用耐高溫310不銹鋼，及噴淋室為 耐腐蝕的PVDF材料，
閥門采用耐腐蝕PVC材料、塑料管道采用優(yōu)質(zhì) PVDF 材料，泵采用耐腐蝕水循環(huán)泵、連接口采用標(biāo)準(zhǔn)的 KF 連接及 VCR、卡套等接口及自動軌道焊接。
7、控制方式：PLC+觸摸屏（帶有自動與手動功能）
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