詳細(xì)介紹
一、設(shè)備用途
高真空排氣臺(tái)運(yùn)用于磁控管管芯排氣工藝,是磁控管生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備,磁控管管芯抽真空至高真空(5.0*0-4Pa)通電,
燈絲發(fā)熱后使得吸附在管芯內(nèi)的氣體進(jìn)一步釋放,將磁控管管芯抽至高真空(優(yōu)于5.0*0-5Pa),達(dá)到管芯排氣目的。

二、主要技術(shù)參數(shù)
1、產(chǎn)能:一次性對(duì)50個(gè)管芯進(jìn)行排氣(也可定制);
2、生產(chǎn)節(jié)拍:約60min每爐;
3、極限真空:優(yōu)于6.67*10-6Pa
4、系統(tǒng)真空檢漏漏率:≤6.67x10-10 Pa.l/S;
5、燈絲電源:輸出直流電流0~20A可調(diào),功率5.5KW,每臺(tái)電源對(duì)10只管芯供電;
6、陽(yáng)極電源:輸出直流電壓0~300V可調(diào),功率2.5KW,每臺(tái)電源對(duì)10只管芯供電;
7、配置進(jìn)口品牌(愛(ài)發(fā)科)低溫泵,抽速:2400L/S

高真空排氣臺(tái)運(yùn)用于磁控管管芯排氣工藝,是磁控管生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備,磁控管管芯抽真空至高真空(5.0*0-4Pa)通電,
燈絲發(fā)熱后使得吸附在管芯內(nèi)的氣體進(jìn)一步釋放,將磁控管管芯抽至高真空(優(yōu)于5.0*0-5Pa),達(dá)到管芯排氣目的。

二、主要技術(shù)參數(shù)
1、產(chǎn)能:一次性對(duì)50個(gè)管芯進(jìn)行排氣(也可定制);
2、生產(chǎn)節(jié)拍:約60min每爐;
3、極限真空:優(yōu)于6.67*10-6Pa
4、系統(tǒng)真空檢漏漏率:≤6.67x10-10 Pa.l/S;
5、燈絲電源:輸出直流電流0~20A可調(diào),功率5.5KW,每臺(tái)電源對(duì)10只管芯供電;
6、陽(yáng)極電源:輸出直流電壓0~300V可調(diào),功率2.5KW,每臺(tái)電源對(duì)10只管芯供電;
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