詳細(xì)介紹
一、設(shè)備用途
真空碳化臺運用于磁控管陰極燈絲碳化工藝,是磁控管生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備,本設(shè)備為單腔室反應(yīng)碳化爐,在真空潔凈條件下,
對磁控管陰極通電,通入活性氣氛C6H6(苯) ,利用陰極燈絲的發(fā)熱,使得苯與燈絲發(fā)生碳化反應(yīng),達(dá)到燈絲碳化的目的。
真空碳化臺運用于磁控管陰極燈絲碳化工藝,是磁控管生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備,本設(shè)備為單腔室反應(yīng)碳化爐,在真空潔凈條件下,
對磁控管陰極通電,通入活性氣氛C6H6(苯) ,利用陰極燈絲的發(fā)熱,使得苯與燈絲發(fā)生碳化反應(yīng),達(dá)到燈絲碳化的目的。

二、主要技術(shù)參數(shù)
1、產(chǎn)能:一次性碳化50個陰極的燈絲(也可定制);
2、生產(chǎn)節(jié)拍:小于10Min每爐;
3、工藝腔體尺寸與結(jié)構(gòu):Φ500mm *400mm (支持定制)
4、極限真空:優(yōu)于6.67*10-4Pa
5、系統(tǒng)真空檢漏漏率:≤6.67x10-8 Pa.l/S;
6、燈絲碳化率:10%-35%

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