piPC90 集成Baratron® 的壓力控制器，集成壓力顯示器，可控制上游或下游壓力。滿量程范圍：1000 Torr – 100psia，控制精度：滿量程的±0.2%，通訊接口：DeviceNet、RS-485、模擬。

piPC99 集成Baratron® 的帶流量監(jiān)測的壓力控制器，集成壓力/流量顯示器，可控制下游壓力。壓力滿量程范圍：1000 Torr – 100psia，流量滿量程范圍：10 – 30000sccm，控制精度：滿量程的±0.2%，通訊接口：DeviceNet、RS-485、模擬。

640B 壓力 / 641B 表讀壓力集成Baratron® 的壓力控制器，可控制上游或下游壓力。滿量程范圍：10 Torr – 100psia，控制精度：滿量程的±0.2%。

649B 集成Baratron® 的帶流量監(jiān)測的壓力控制器，可控制下游壓力。壓力滿量程范圍：10 – 5000Torr，流量滿量程范圍：10 – 5000sccm，控制精度：滿量程的±0.2%。

DPC 雙區(qū)壓力控制子系統(tǒng)。集成了氣動隔離閥，雙Baratron® 的帶流量監(jiān)測的閉環(huán)壓力控制器。用于硅片背面氦氣冷卻系統(tǒng)。