P系列高性能金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器

新一代多氣體/多量程數(shù)字質(zhì)量流量控制器。實(shí)時(shí)高精度流量控制是基于*的數(shù)字算法技術(shù)，提供精度為設(shè)定值的±1%、相應(yīng)速度快于500毫秒、不同氣體及量程間自由切換的優(yōu)異功能。1.125吋寬度。EtherNet用戶(hù)通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬和數(shù)字（RS-485、DeviceNet、Modbus/TCP）通訊接口可選。

?P2A 低壓質(zhì)量流量控制器，滿(mǎn)量程范圍從2 – 50 sccm。

?P4B 多氣體/多量程數(shù)字質(zhì)量流量控制器，滿(mǎn)量程范圍從5 sccm – 50 slm。

?P9B 多氣體/多量程/壓力不敏感數(shù)字質(zhì)量流量控制器，滿(mǎn)量程范圍從5 sccm – 50 slm。