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北京眾譜科技有限公司>>>>8.5"單溫區(qū)CVD真空管式爐--ZKXJ-11GL4 電阻爐/馬弗爐/退火爐

8.5"單溫區(qū)CVD真空管式爐--ZKXJ-11GL4 電阻爐/馬弗爐/退火爐

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更新時(shí)間:2026-05-29 09:49:29瀏覽次數(shù):215

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

ZKXJ-11GL4是一款爐管外徑為8.5的真空管式爐,它可以在6“的基片上生長(zhǎng)多種薄膜(在不同氣氛下).該爐的工作溫度為1100°C,采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,溫控精度:±1°C

詳細(xì)介紹

ZKXJ-11GL4 是一款爐管外徑為  8.5" 的真空管式爐 , 它可以在6“的基片上生長(zhǎng)多種薄膜(在不同氣氛下). 該爐的工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,溫控精度: ±1°C。



技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)

  • 雙層殼體,循環(huán)風(fēng)冷.

  • 爐體表面溫度< 70 oC

  • 采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能

工作電壓

AC 220V

功率

8KW

爐管規(guī)格

  • 8.5" O.D x 8.2" I.Dx 40" 長(zhǎng)

  • 標(biāo)配內(nèi)包含一只石英管, 多余的管子可單獨(dú)訂購(gòu) (點(diǎn)擊下圖查看)

加熱元件

NiCrAl 電阻絲

工作溫度

  • 極限溫度: 1100°C

  • 工作溫度: 400 -1000°C

  • 升降溫速率: 10°C/min(max)

加熱區(qū)

  • 加熱區(qū)總長(zhǎng):    600mm (24'')

  • 恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 中心200mm (精度±1°C)

  • 在800℃時(shí)爐膛溫度分布曲線( 點(diǎn)擊下圖查看)          

控溫儀

  • 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器

  • 設(shè)有一個(gè)額外的溫度校準(zhǔn)檢測(cè)系統(tǒng)

  • 雙K型omega熱電偶測(cè)溫.

  • 溫控精度: ±1°C

  • 可選: PC接口和軟件

  • 軟件接口、模塊和PC機(jī)不在標(biāo)配內(nèi)需額外訂購(gòu)

密封法蘭和進(jìn)氣接口

  • 不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達(dá)到  (機(jī)械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr).  真空泵不包含在內(nèi)

  • 右端法蘭上設(shè)有一個(gè)鎧裝熱偶檢測(cè)口和KF40真空接口.   ( 如需對(duì)爐膛溫度進(jìn)行校準(zhǔn)請(qǐng)訂購(gòu)36" 長(zhǎng) x 1/4"dia  K 型熱電偶)

  • 包括兩個(gè)高純氧化鋁或石英管堵,設(shè)備使用時(shí)右端必須安裝管堵阻止熱的輻射

使用注意事項(xiàng)
  • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

  • 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

  • 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

  • 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

  • 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃

  • 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

產(chǎn)品尺寸

爐體:  1000L x 680W x 920 H  mm

凈重

250Kg

保修期

整機(jī)保修一年,相關(guān)耗材除外。(如密封圈、爐管等)

Certificate

  CE certified


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