ZKXJ-11GL4 是一款爐管外徑為 8.5" 的真空管式爐 , 它可以在6“的基片上生長(zhǎng)多種薄膜(在不同氣氛下). 該爐的工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,溫控精度: ±1°C。
技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) | |
工作電壓 | AC 220V |
功率 | 8KW |
爐管規(guī)格 | |
加熱元件 | NiCrAl 電阻絲 |
工作溫度 | 極限溫度: 1100°C 工作溫度: 400 -1000°C 升降溫速率: 10°C/min(max)
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加熱區(qū) | 加熱區(qū)總長(zhǎng): 600mm (24'') 恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 中心200mm (精度±1°C) 在800℃時(shí)爐膛溫度分布曲線( 點(diǎn)擊下圖查看)
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控溫儀 | |
密封法蘭和進(jìn)氣接口 | 不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達(dá)到 (機(jī)械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr). 真空泵不包含在內(nèi) 右端法蘭上設(shè)有一個(gè)鎧裝熱偶檢測(cè)口和KF40真空接口. ( 如需對(duì)爐膛溫度進(jìn)行校準(zhǔn)請(qǐng)訂購(gòu)36" 長(zhǎng) x 1/4"dia K 型熱電偶) 包括兩個(gè)高純氧化鋁或石英管堵,設(shè)備使用時(shí)右端必須安裝管堵阻止熱的輻射

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| 使用注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)
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產(chǎn)品尺寸 | 爐體: 1000L x 680W x 920 H mm |
凈重 | 250Kg |
保修期 | 整機(jī)保修一年,相關(guān)耗材除外。(如密封圈、爐管等) |
Certificate | CE certified |