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詳細(xì)介紹
安捷倫提供了抽速?gòu)?46 至 7500 升/秒的全系列渦輪分子泵，其中包括 Navigator 和 TwisTorr 兩個(gè)產(chǎn)品線(xiàn)。安捷倫渦輪分子泵經(jīng)過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)，可以在低壓強(qiáng)內(nèi)實(shí)現(xiàn)高壓縮比，在大抽氣量和高前級(jí)壓強(qiáng)是實(shí)現(xiàn)的壓差。該渦輪分子泵為無(wú)油、無(wú)污染型，可以以任意角度安裝而不對(duì)材料施加應(yīng)力，故障率低，其平均故障時(shí)間 (MTTF) 通常大于 250000 小時(shí)。該泵以安捷倫范圍內(nèi)優(yōu)秀的應(yīng)用和技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)為后盾。渦輪分子泵的應(yīng)用范圍包括高能物理和研究、納米技術(shù)、質(zhì)譜技術(shù)、工業(yè)真空加工和半導(dǎo)體，并可用作掃描電子顯微鏡 (SEM) 的專(zhuān)用泵。
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