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詳細介紹
安捷倫提供了抽速從 46 至 7500 升/秒的全系列渦輪分子泵，其中包括 Navigator 和 TwisTorr 兩個產(chǎn)品線。安捷倫渦輪分子泵經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計，可以在低壓強內(nèi)實現(xiàn)高壓縮比，在大抽氣量和高前級壓強是實現(xiàn)的壓差。該渦輪分子泵為無油、無污染型，可以以任意角度安裝而不對材料施加應(yīng)力，故障率低，其平均故障時間 (MTTF) 通常大于 250000 小時。該泵以安捷倫范圍內(nèi)優(yōu)秀的應(yīng)用和技術(shù)支持團隊為后盾。渦輪分子泵的應(yīng)用范圍包括高能物理和研究、納米技術(shù)、質(zhì)譜技術(shù)、工業(yè)真空加工和半導(dǎo)體，并可用作掃描電子顯微鏡 (SEM) 的專用泵。
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