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詳細介紹
PEV-1 壓電閥主要技術特點：
1、控制模式：開環(huán)控制和閉環(huán)控制
2、易于集成：可與國產(chǎn)自動壓強控制儀配套使用，來實現(xiàn)閉環(huán)控制，達到穩(wěn)定壓強的目的，
同時亦可選擇進口壓強控制儀
3、響應時間快
4、性能穩(wěn)定，壓電陶瓷片壽命長
6、無機械連接件，無伺服馬達，無磨損，在斷電的情況下可實現(xiàn)自動關閉的特點
PEV-1壓電閥技術參數(shù)：
閥門類型： 壓電晶體
可控制的氣體： 兼容各種材料
流量范圍： 0？500 SCCM
漏率： <1x10？9 scc/sec（1ATM HE
ON INLET）
響應時間： 2微秒
進氣壓力： 50 PSI
驅動要求：電壓： 0？100 VDC，電流：<10μA
操作溫度范圍： ＋10°C to＋60°C
材料： 316不繡剛，氟橡膠，特富龍，
陶瓷片
進氣和出氣連接： 1/4"Swagelok Fittings
電氣連接： 標準BNC
重量： 800克
1、控制模式：開環(huán)控制和閉環(huán)控制
2、易于集成：可與國產(chǎn)自動壓強控制儀配套使用，來實現(xiàn)閉環(huán)控制，達到穩(wěn)定壓強的目的，
同時亦可選擇進口壓強控制儀
3、響應時間快
4、性能穩(wěn)定，壓電陶瓷片壽命長
6、無機械連接件，無伺服馬達，無磨損，在斷電的情況下可實現(xiàn)自動關閉的特點
PEV-1壓電閥技術參數(shù)：
閥門類型： 壓電晶體
可控制的氣體： 兼容各種材料
流量范圍： 0？500 SCCM
漏率： <1x10？9 scc/sec（1ATM HE
ON INLET）
響應時間： 2微秒
進氣壓力： 50 PSI
驅動要求：電壓： 0？100 VDC，電流：<10μA
操作溫度范圍： ＋10°C to＋60°C
材料： 316不繡剛，氟橡膠，特富龍，
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