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詳細信息
緊湊型XYR對位平臺
三軸精密直驅(qū)精密對位平臺
采用直線電機驅(qū)動
全閉環(huán)機構(gòu)
操作簡單，可靠性遠高于通過擬合運動的直線對位平臺
主要參數(shù)：
XY有效行程：±110mm
R軸有效形成：±5°
XY軸分辨率：0.5um
XY軸最小步長：1um
R軸分辨率：1.5sec
R軸重復定位精度：≤±5sec
外形尺寸：
無需算法控制，XYR直接調(diào)節(jié)
使用壽命高達：5年
詳細了解聯(lián)系我們.
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