詳細(xì)介紹
緊湊型XYR對(duì)位平臺(tái)

三軸精密直驅(qū)精密對(duì)位平臺(tái)
采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)
全閉環(huán)機(jī)構(gòu)
操作簡單,可靠性遠(yuǎn)高于通過擬合運(yùn)動(dòng)的直線對(duì)位平臺(tái)
主要參數(shù):
XY有效行程:±110mm
R軸有效形成:±5°
XY軸分辨率:0.5um
XY軸最小步長:1um
R軸分辨率:1.5sec
R軸重復(fù)定位精度:≤±5sec
外形尺寸:

無需算法控制,XYR直接調(diào)節(jié)
使用壽命高達(dá):5年
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