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詳細(xì)介紹
詳細(xì)信息
指標(biāo) | 項(xiàng)目 | X軸 | Y軸 | Z軸 | R軸 |
電機(jī)類(lèi)型 | 直線(xiàn)電機(jī) | 直線(xiàn)電機(jī) | 伺服電機(jī) | DD馬達(dá) |
有效行程 | 350mm | 320mm | 40mm | 380deg |
適用晶圓尺寸 | Θ4-12in |
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光柵分辨率 | 0.1um | 0.1um | 0.1um | 0.3sec |
重復(fù)定位精度 | ≤±150nm | ≤±150nm | ≤±500nm | ±1sec |
速度 | 1000mm/s | 1000mm/s | 300mm/s | 4rps |
加速度 | 3G | 2G | - | - |
負(fù)載 | 25kg | - | - | 30kg |
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