旋片式真空泵的介紹

旋片真空泵是以泵為主泵，以旋片真空泵為前級泵的串聯(lián)而成的。旋片真空泵選用的旋片泵作為前級泵，因此它克服了旋片真空泵在使用時(shí)一定壓力下的抽氣速率低的缺點(diǎn)，并且同時(shí)保留了羅茨泵能迅速的工作，優(yōu)點(diǎn)有比較大抽氣速率等。

因?yàn)樾婵毡玫慕Y(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小，所以可以替代多臺機(jī)械式真空泵，因此旋片真空泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽，電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中與泵油不會起化學(xué)反應(yīng)的也不會含有顆粒塵埃的氣體。