普諾克真空系統(tǒng)保養(yǎng)維護：
1、定期檢查真空泵，做好真空泵的日常維護工作。
2、定期清理及更換真空泵進氣口真空過濾器濾芯。
3、定期檢查電氣控制。
4、定期檢查真空管路及真空罐的密封情況。

降低普諾克真空系統(tǒng)漏氣率的措施：
1.真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)
真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是影響真空系統(tǒng)密封性和系統(tǒng)漏氣率的關鍵，真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)合理與否，將直接影響系統(tǒng)的密封性和系統(tǒng)的漏氣率。
（1）盡可能地避免出現(xiàn)小曲率半徑的死角，要光滑過渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。
（2）抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道，采用圓弧過渡，使氣路暢通無阻，但要考慮清洗清掃的方便性。
（3）認真設計真空室內(nèi)各種連接件的結(jié)構(gòu)，使氣路暢通，避免氣路堵塞。
（4）打磨拋光真空系統(tǒng)內(nèi)表面，表面越光亮就越不易氣體吸附，越容易獲得真空。
（5）盡可能減小真空室的體積，縮短管路系統(tǒng)。
2.密封形式的選擇
密封形式可根據(jù)所需真空度的高低及實際工作需要選擇密封形式，對于人工晶體生長設備，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，無需采用金屬密封。以TDR--70型單晶爐為例，我們選擇磁性流體密封作為旋轉(zhuǎn)動密封，選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進行移動密封，小直徑軸的旋轉(zhuǎn)密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封，各種靜密封則采用“0”型密封圈密封形式，直徑壓縮比為25％。
密封件材質(zhì)的選用：真空度在lO-3Pa以下的真空系統(tǒng)，密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足要求。但是，考慮到實際工作條件的需要(真空室內(nèi)溫度zui高可達2300℃，密封部位進行水冷后，其溫度在80℃左右，個別處溫度可達100℃以上)。所以，要選擇比較理想的密封圈材料。
用于真空密封橡膠材料，除要求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外，還要求有低的滲透率和出氣率，良好的耐熱性耐油性，同時要有一定的強度、硬度和彈性等。
3.靜密封結(jié)構(gòu)的選擇
各種真空系統(tǒng)中，80%以上的密封為靜密封，靜密封效果的好壞，對系統(tǒng)的真空度及漏氣率有很大的影響。因此，要對靜密封結(jié)構(gòu)進行認真設計，以達到理想的效果。
對靜密封結(jié)構(gòu)的設計，主要考慮如何選擇主要密封面、如何減小殘留氣體及如何充分發(fā)揮橡膠密封圈功能。
無論是矩形密封槽、燕尾型密封槽還是梯形密封槽，其槽底較小的粗糙度容易獲得為主要密封面，而其側(cè)面則較小的粗糙度往往不易獲得。同時，為了消除殘留氣體，在存在殘留氣體處設計了貫通孔，使系統(tǒng)內(nèi)部各處暢通無阻。

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真空抽濾系統(tǒng)的類型有三種：
1.低真空系統(tǒng)
2.中真空系統(tǒng)
①由羅茨泵為主泵串聯(lián)機械泵而構(gòu)成的系統(tǒng)；
②由油增壓泵為主泵串聯(lián)機械泵而構(gòu)成的系統(tǒng)；
③由羅茨泵串聯(lián)小羅茨泵，再串聯(lián)機械泵而構(gòu)成的系統(tǒng)。
3.高真空系統(tǒng)
①由擴散泵為主泵串聯(lián)羅茨泵，再串聯(lián)機械泵而構(gòu)成的系統(tǒng)；
②由擴散泵為主泵串聯(lián)機械泵而構(gòu)成的真空系統(tǒng)；
③由擴散泵為主泵串聯(lián)油增壓泵，再串聯(lián)機械泵而構(gòu)成的真空系統(tǒng)。

普諾克量身定制：
（1）通過全面了解影響選擇的因素，尋找具體應用的真空解決方案。我們的系統(tǒng)工程師在設計過程中考慮各方面要求，根據(jù)其在全國眾多安裝項目中獲取的經(jīng)驗，為客戶量身定制系統(tǒng)。
（2）每一個系統(tǒng)的設計過程中，工藝變量、具體測量結(jié)果、特殊法律要求和當?shù)貧夂虻拳h(huán)境因素均在考慮范圍內(nèi)，從而確保系統(tǒng)獲得良好性能,普諾克真空科技的所有真空系統(tǒng)均以可靠且久經(jīng)考驗的設計為基礎，并可量身定制，為既定應用提供解決方案。由此，產(chǎn)品性能和質(zhì)量都能得到保障。
（3）選擇正確的產(chǎn)品并與合適的工作原理和施工材料相結(jié)合，使能效和使用壽命等其它重要參數(shù)達到優(yōu)化。