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  • 磁控濺射儀 SSG-50A
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經(jīng)銷(xiāo)商

型號(hào)

訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)

32

產(chǎn)地

北京市

更新時(shí)間

2026/9/10 7:44:41

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

在封閉腔室中，放置陽(yáng)極靶材，充入氣體，保持一定的真空度，在陽(yáng)極和陰極之間加載高壓，會(huì)發(fā)生輝光放電現(xiàn)象。電離的氣體離子會(huì)轟擊、侵蝕陽(yáng)極靶材。靶材原子會(huì)因此向四周擴(kuò)散，在磁力的束縛下在一定范圍內(nèi)沉積，最終在樣品表面形成一個(gè)均勻的鍍層。這個(gè)鍍層可以抑制荷電，減小熱損傷，提高二次電子產(chǎn)率，從而改善掃描電鏡觀(guān)察效果。平時(shí)使用時(shí)，見(jiàn)靶材的是金靶。正是這個(gè)原因，離子濺射儀也俗稱(chēng)噴金儀。然而，為了獲得更細(xì)小的......

磁控濺射儀 SSG-50A詳細(xì)信息

產(chǎn)品概述

技術(shù)參數(shù)
配置
詳細(xì)參數(shù)說(shuō)明
樣品腔尺寸
直徑150mm*高度120mm
低真空度
極限真空度：＜0.1Pa，工作真空度：0-10Pa
高真空度
極限真空度：＜10-3Pa，工作真空度：0.1-2Pa
靶材尺寸
規(guī)格：直徑50mmx0.1mm厚，數(shù)量：1個(gè)
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速
4-20rmp
抽速
66L/min
濺射電流
1-200mA，連續(xù)可調(diào)
濺射時(shí)間
1-999s，連續(xù)可調(diào)
保護(hù)氣
氬氣
選型指南

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用戶(hù)評(píng)論

發(fā)布評(píng)論
評(píng)價(jià)時(shí)間 類(lèi)別 詳細(xì)內(nèi)容 評(píng)價(jià)者 IP地址
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