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  • 大腔體雙靶磁控濺射儀 SSG-200A
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品牌

廠商性質(zhì)

經(jīng)銷商

型號

訪問次數(shù)

24

產(chǎn)地

北京市

更新時間

2026/9/10 7:42:26

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產(chǎn)品簡介

在封閉腔室中，放置陽極靶材，充入氣體，保持一定的真空度，在陽極和陰極之間加載高壓，會發(fā)生輝光放電現(xiàn)象。電離的氣體離子會轟擊、侵蝕陽極靶材。靶材原子會因此向四周擴(kuò)散，在磁力的束縛下在一定范圍內(nèi)沉積，最終在樣品表面形成一個均勻的鍍層。這個鍍層可以抑制荷電，減小熱損傷，提高二次電子產(chǎn)率，從而改善掃描電鏡觀察效果。平時使用時，見靶材的是金靶。正是這個原因，離子濺射儀也俗稱噴金儀。然而，為了獲得更細(xì)小的......

大腔體雙靶磁控濺射儀 SSG-200A詳細(xì)信息

產(chǎn)品概述

技術(shù)參數(shù)
配置
詳細(xì)參數(shù)說明
樣品腔尺寸
直徑300mm*高度130mm
低真空度
極限真空度：＜0.1Pa，工作真空度：0-10Pa
高真空度
極限真空度：＜10-3Pa，工作真空度：0.1-2Pa
靶材尺寸
規(guī)格：直徑50mmx0.1mm厚，數(shù)量：2個
樣品臺轉(zhuǎn)速
4-20rmp
抽速
66L/min
濺射電流
1-500mA，連續(xù)可調(diào)
濺射時間
1-999s，連續(xù)可調(diào)
保護(hù)氣
氬氣
選型指南

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