產(chǎn)品簡(jiǎn)介

EV?PA500空冷干式真空泵為日本EBARA荏原干式無(wú)油真空設(shè)備，采用非接觸羅茨泵結(jié)構(gòu)，無(wú)油潤(rùn)滑，輸出潔凈無(wú)碳?xì)涞恼婵窄h(huán)境。設(shè)備采用空氣強(qiáng)制冷卻，無(wú)需外接冷卻水系統(tǒng)，簡(jiǎn)化現(xiàn)場(chǎng)管路布置，支持24小時(shí)不間斷連續(xù)運(yùn)行。整機(jī)小巧輕便，低噪音低振動(dòng)，可直接替代傳統(tǒng)油旋片泵、渦旋真空泵，避免油蒸汽對(duì)腔體造成污染，廣泛適配半導(dǎo)體負(fù)載鎖腔體、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)、工業(yè)精密制程，滿(mǎn)足潔凈真空工況使用需求，支持CE、SEMI?S2行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，設(shè)備集成與現(xiàn)場(chǎng)安裝調(diào)試便捷。

??日本EBARA荏原 EV?PA500 空氣冷卻無(wú)油真空泵 詳細(xì)技術(shù)參數(shù)

?日本EBARA荏原 EV?PA500 空氣冷卻無(wú)油真空泵 產(chǎn)品核心優(yōu)勢(shì)

• 無(wú)油干式泵體，無(wú)油蒸汽污染，輸出潔凈真空，保護(hù)腔體與工件。

• 空冷散熱，不需要冷卻水，省去水冷管路，現(xiàn)場(chǎng)安裝簡(jiǎn)單，通電即可投入使用。

• 整機(jī)僅21kg，機(jī)身緊湊小巧，便于設(shè)備集成、機(jī)柜內(nèi)置、實(shí)驗(yàn)室擺放。

• 低噪音58dB(A)，振動(dòng)小，適合潔凈車(chē)間、實(shí)驗(yàn)室長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行。

• 50/60Hz電網(wǎng)通用，不同供電頻率下抽氣性能穩(wěn)定一致。

• 非接觸泵腔結(jié)構(gòu)，減少易損件損耗，維護(hù)工作量低，支持24h不間斷工作。

• 支持氣鎮(zhèn)功能，可處理含水汽工況，適配多樣工藝；滿(mǎn)足CE、SEMI?S2行業(yè)規(guī)范。

??適用行業(yè)與應(yīng)用場(chǎng)景

適配需要潔凈無(wú)油真空的各類(lèi)工況：

• 半導(dǎo)體行業(yè)：Load?lock負(fù)載鎖、晶圓檢測(cè)設(shè)備、小型鍍膜設(shè)備前級(jí)抽真空

• 科研實(shí)驗(yàn)室：材料實(shí)驗(yàn)、真空處理、各類(lèi)分析儀器配套真空源

• 工業(yè)制造：真空鍍膜、真空清洗、低壓工藝，替代傳統(tǒng)油旋片泵

• 精密設(shè)備配套，規(guī)避油蒸汽污染，保障工藝潔凈度。