日本 ACTIVE 6 英寸晶圓旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī) 日本 ACTIVE 6 英寸晶圓旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)

1、產(chǎn)品性能

ACT?300AⅡ?HS 是臺(tái)式高精度高速旋涂機(jī)，伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，負(fù)載轉(zhuǎn)速精度 ±2rpm 以內(nèi)，轉(zhuǎn)速 12000rpm，2.5 秒內(nèi)可升至轉(zhuǎn)速，轉(zhuǎn)速可平滑調(diào)節(jié)。

設(shè)備內(nèi)置 10 步驟、100 模式程序存儲(chǔ)，可保存多套旋涂工藝配方。整機(jī) SUS304 不銹鋼材質(zhì)，可選特氟龍涂層，耐化學(xué)溶劑腐蝕。

具備多重安全聯(lián)鎖：安全蓋磁力傳感器聯(lián)鎖、基板真空吸附壓力聯(lián)鎖，開蓋自動(dòng)停機(jī)；安全蓋帶滴液滑蓋，旋轉(zhuǎn)狀態(tài)下可滴加藥液。真空負(fù)壓?70~?80kPa 牢牢吸附基板，保障高速旋轉(zhuǎn)時(shí)基板穩(wěn)定。

2、型號(hào)說明

型號(hào)：ACT?300AⅡ?HS

ACT：ACTIVE 旋涂機(jī)系列代號(hào)

300：杯體內(nèi)徑 Φ300mm

AⅡ：第二代臺(tái)式主機(jī)

HS：High?Speed 高速版本， 12000rpm，適配 Φ150mm（6 英寸）基板。

3、核心參數(shù)表

表格

項(xiàng)目規(guī)格參數(shù)

兼容基板尺寸Φ5~Φ150mm（ 6 英寸）

杯體內(nèi)徑Φ300mm

外形尺寸W400×D570×H410mm

電源單相 100V?10A，伺服電機(jī) 400W，50/60Hz

轉(zhuǎn)速 / 精度0?12000rpm，負(fù)載下 ±2rpm 以內(nèi)

升速時(shí)間12000rpm/2.5 秒以內(nèi)

基板吸附壓力-70~?80kPa，真空泵排氣量 12L/min 以上

程序能力10 步驟，100 模式，程序存儲(chǔ)標(biāo)配

顯示液晶顯示屏，顯示配方號(hào)、轉(zhuǎn)速、時(shí)間、吸附壓力

控制方式單片機(jī)數(shù)字鍵盤輸入設(shè)置

主機(jī)外殼SUS304，可選特氟龍涂層

杯體材質(zhì)SUS304 電解拋光，可選特氟龍涂層

安全蓋透明 PVC，帶滑蓋滴液孔

整機(jī)重量約 35kg

4、可選配件

1. 樣品臺(tái)夾具：POM、PCTFE、PTFE、PEEK、鋁材質(zhì)，可按基板定制；

2. 干式隔膜真空泵 12S；

3. 安全蓋電磁鎖；

4. 杯體 / 內(nèi)杯特氟龍涂層；

5. 中心對(duì)準(zhǔn)夾具；

6. 多種滴注單元：注射器加壓、加壓罐、微量注射器、電動(dòng)移液滴加模塊；

7. 外部設(shè)備通信接口（按需定制）。

5、用途 & 適用行業(yè)

利用高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生離心力，將涂覆液在基板表面均勻攤開，形成均勻薄膜。

適用行業(yè)：半導(dǎo)體、太陽能電池、光學(xué)鏡片、液晶顯示、納米材料、生物技術(shù)、醫(yī)療材料，用于薄膜涂層實(shí)驗(yàn)研發(fā)、小批量試樣生產(chǎn)。

6、使用說明

1. 接通 100V 電源，連接真空泵，確認(rèn)真空管路連接完好；

2. 放置基板，開啟真空吸附，確認(rèn)負(fù)壓達(dá)到?70~?80kPa，基板被牢牢吸??；

3. 通過數(shù)字鍵盤調(diào)用或者編輯旋涂程序，設(shè)置每段步驟轉(zhuǎn)速、時(shí)間；

4. 關(guān)閉安全蓋，設(shè)備確認(rèn)吸附與蓋體聯(lián)鎖到位后，啟動(dòng)旋涂程序；

5. 可通過安全蓋上滑蓋滴入涂覆藥液，設(shè)備按程序完成各段旋轉(zhuǎn)工藝；

6. 程序結(jié)束，設(shè)備停止旋轉(zhuǎn)，解除真空，取出樣品；

7. 杯體及時(shí)清理溶劑殘留，腐蝕性藥液建議選配特氟龍涂層腔體。