產(chǎn)品簡介
紫外曝光、光刻領(lǐng)域
博霆光電生產(chǎn)的大尺寸紫外光學(xué)薄膜器件主要用于紫外曝光機系統(tǒng)中，其中紫外反射鏡采用線膨脹系數(shù)為(3.3士0.1)×10-6/K的高硼硅玻璃做為基底，內(nèi)表面精密數(shù)控加工成形，鍍制多層硬質(zhì)氧化物薄膜，產(chǎn)品具有光斑均勻性好、紫外反射率高、使用壽命長等特點，在PCB、平板顯示、LED等行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用。包括半導(dǎo)體、集成電路、LED、MEMS、TFT、生物器件和納米科技等產(chǎn)業(yè)，其中紫外反射鏡采用線膨脹系數(shù)為(3.3士0.1)×10-6/K的高硼硅玻璃做為基底，內(nèi)表面精密數(shù)控加工成形，鍍制多層硬質(zhì)氧化物薄膜，產(chǎn)品具有光斑均勻性好、紫外反射率高、使用壽命長等特點。
技術(shù)參數(shù)：
博霆光電生產(chǎn)的大尺寸紫外光學(xué)薄膜器件主要用于紫外曝光機系統(tǒng)中，其中紫外反射鏡采用線膨脹系數(shù)為(3.3士0.1)×10-6/K的高硼硅玻璃做為基底，內(nèi)表面精密數(shù)控加工成形，鍍制多層硬質(zhì)氧化物薄膜，產(chǎn)品具有光斑均勻性好、紫外反射率高、使用壽命長等特點，在PCB、平板顯示、LED等行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用。包括半導(dǎo)體、集成電路、LED、MEMS、TFT、生物器件和納米科技等產(chǎn)業(yè)，其中紫外反射鏡采用線膨脹系數(shù)為(3.3士0.1)×10-6/K的高硼硅玻璃做為基底，內(nèi)表面精密數(shù)控加工成形，鍍制多層硬質(zhì)氧化物薄膜，產(chǎn)品具有光斑均勻性好、紫外反射率高、使用壽命長等特點。
應(yīng)用領(lǐng)域：
在PCB、平板顯示、LED等行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用。包括半導(dǎo)體、集成電路、LED、MEMS、TFT、生物器件和納米科技等產(chǎn)業(yè)。
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