納米技術(shù)檢測服務(wù)平臺是一種與眾不同的解決方案，它將mibot納米技術(shù)機械臂變化為強勁的納米技術(shù)探針，用以sem中集成電路工藝和材料的原位電特性表征。納米技術(shù)機械臂精心策劃以盡量避免對測定數(shù)據(jù)信號的干撓，泄露電流可低至100 fa/v。屏蔽電纜將每一攝像頭從演出舞臺聯(lián)接到國家標準的引出線射頻連接器。這一服務(wù)平臺容許您在好多個mm的工作中室內(nèi)空間上單獨置放高達4個探針，像素達到納米技術(shù)。*后但并不是*不關(guān)鍵的是，演出舞臺緊湊型的設(shè)計方案促使這類解決方案以至于對這些光學(xué)顯微鏡有一個小真空室的人而言都是行得通的。



 形象化的原位低電流量電氣測定。將探針**與集成電路芯片觸碰，測定集成化元器件的電氣特性并防護缺點。 Imina Technologies的Nanoprobing SEM解決方案是微電子器件電氣特性和原位半導(dǎo)體材料常見故障剖析的交鑰匙工程。

 *多能夠出示多種多樣配備的miBot™納米技術(shù)過濾裝置，以融入顧客的運用規(guī)定和機器設(shè)備。 miBot™是一款杰出的便于應(yīng)用且作用繁多的壓電驅(qū)動器小型智能機器人，可使您將攝像頭精準定位在mm級試品上，像素低至氧化硅。這種納米技術(shù)探針的4個可玩性使作業(yè)者可以在試驗期內(nèi)非常容易地調(diào)整探針的趨向。

 環(huán)形服務(wù)平臺能夠安裝在SEM試品精準定位臺子上，還可以根據(jù)SEM載入鎖載入。包裝出示了一套電源適配器，基本上能夠?qū)σ磺蠸EM開展更新改造，即便是這些含有小腔室的SEM。

 致力于低電流量測定而設(shè)計方案，納米技術(shù)構(gòu)造的電氣特性可根據(jù)屏蔽電纜與第三方開關(guān)電源表模塊（SMU）和數(shù)據(jù)信號檢測儀開展，具備優(yōu)異的信噪比。

 上等的原位前置放大器和掃描儀超聲波發(fā)生器與Nanoprobing解決方案適配，可實行定量分析EBIC和低噪音EBAC / RCI剖析。

 盡管安裝和拆裝演出舞臺安裝版本只需十多分鐘并且不用長期性地改動光學(xué)顯微鏡的腔室，可是載入鎖住適配版本出示了*高的貨運量來拆換被測機器設(shè)備和攝像頭**防止開啟腔室的必須。

 以智能機器人服務(wù)平臺為基地的直徑合適多種類型的SEM短截線，讓您能夠像之前一樣觀查試品。