AW™ 系列產(chǎn)品超聲波掃描儀光學(xué)顯微鏡是專業(yè)為黏合晶圓及硅片設(shè)計方案的自動式 C-SAM®系統(tǒng)軟件,容積大,生產(chǎn)能力高,靈敏度高。一般用于檢 測SOI,MEMS等晶圓。因為這種原材料對超聲波基本上是全透明 的,Sonoscan利用自身專業(yè)研發(fā)的高頻率攝像頭開展剖析, 以獲得*細致的圖象。AW系列產(chǎn)品可以檢測直經(jīng)低于5μm 的裂縫和薄如200埃的層次。 AW™系列產(chǎn)品是優(yōu)良的大空間、高貨運量的自動化技術(shù)晶圓C-Sam®儀器設(shè)備，專業(yè)為晶圓和機器設(shè)備級運用的評定出示*大的靈敏度。 AW系列產(chǎn)品能夠出示比市場競爭系統(tǒng)軟件快二倍的5μm左右的靈敏度，及其非滲入式掃描機，以**因雙蒸水入侵而造成的亂報。

 AW系列產(chǎn)品依據(jù)客戶界定的接納/回絕規(guī)范全自動解決、定期檢查排列晶圓。該產(chǎn)品規(guī)劃用以解決基本上一切方式生產(chǎn)制造的晶圓級商品（BSI控制器、SOI、MEMS、LED、片上集成ic和未打磨晶圓），包含應(yīng)用立即熔合、陽極氧化、夾層玻璃熔塊和環(huán)氧樹脂膠鍵合的鍵合加工工藝。

 1.立即鍵合技術(shù)性-系統(tǒng)軟件客戶發(fā)覺，在范德華力原始鍵合后、淬火后和稀釋液后的三個生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)開展查驗，能夠明顯提高效益。

 2.MEMS機器設(shè)備-在分離出來以前，能夠查驗腔密封性的品質(zhì)。

 3.未打磨的生芯片-檢驗在進一步生產(chǎn)過程中造成“針眼”的大自然間隙。

 4.發(fā)光二極管-查驗層的融合全自動一個磨具的基本上，并歸類壞和異常的磨具。

 AW系列產(chǎn)品利用了Sonoscan的高頻率聲透鏡，這類透鏡是內(nèi)部設(shè)計方案的，能夠得到*詳盡的圖象。因為在這種運用中應(yīng)用的原材料，如硅、綠寶石、夾層玻璃、砷化鎵等，對超聲波而言是十分全透明的，因而必須獨特的透鏡。能夠檢驗到薄到200埃的晶圓中間的層次。

 AW300系列產(chǎn)品出示自動式查驗，合乎SECS/GEM規(guī)范，可依據(jù)您的規(guī)定訂制。