1.1、設備名稱：硅片/晶圓清洗機
1.2、設備型號：長電-6008
1.3、型式：由自動清洗干燥工件
1.4、用途：清洗與干燥工件長電（深圳）清洗技術有限公司
1.5、生產(chǎn)能力：10—60 分鐘/每籃（由工藝定）
1.6、總體外形尺寸：長 L3600×寬 W1000×高 H1900mm
1.7、工藝流程：
1.8、噴淋式兆聲波系統(tǒng)
說明：
■ 本裝置最主要的功能是產(chǎn)生兆聲波。使水分子以 105G 的加速度振動,去除物
體表面小于 0.2μm 的微小顆粒。
■ Si 圓片、GaAs 的清洗,液晶玻璃及其他玻璃面罩的清洗.長電（深圳）清洗技術有限公司
■ 硬盤清洗、平板玻璃、半導體組件、薄膜磁頭等脆性材料等的超精密清洗.
■ 采用兆聲清洗法可以減少化學品和提高純水的用量,在不破壞晶圓表面特征的
前提下,提高對亞微細顆粒及各種污染物的去除能力及生產(chǎn)效率.
二、 主要配置：
1.振板尺寸：L559×W100×H76mm
2.槽體結構：內(nèi)槽采用SUS316L T2.0不銹鋼板制作加工,圓角處理.內(nèi)槽與液體接觸
部分均鏡面拋光處理.
3.兆聲波發(fā)生器：
1) 配發(fā)生器 1 臺,電源 220V 9.5A。
2) 頻率：950KHz-1MHz
3) 功率：900W
4) 尺寸：460ｘ500ｘ143mm
5) 重量：25kg
6) 顯示：7 字段 3 位數(shù) LED
7) 上下限判定功能
8) 振蕩狀態(tài)顯示實行上下限異常顯示功能長電（深圳）清洗技術有限公司
9) 可外接遠程控制系統(tǒng),遙控操作工藝流程
10) 過熱安全保護系統(tǒng)
11) 過流安全保護系統(tǒng)
12) 鎖相環(huán)路頻率自動跟蹤（在不同的溫度、載荷和液面高度的情況下,使功率輸出最
優(yōu)化）
三、動力供給、排放
1、供給：
1）電源：3ФAC380V 50Hz 30KVA
2）壓縮空氣：3-5kg/cm2 500NL/min
3）工水：20℃-28℃ 1-3kg/cm2
4）DI 純水：20℃-28℃ 1-3kg/cm2 500L/H
2、 排放：
1）一般廢水
2）一般排氣
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