FST-MDF02 高精度手動(dòng)二維材料轉(zhuǎn)移系統(tǒng)
企業(yè)
一、產(chǎn)品主標(biāo)題
二、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
三、整機(jī)模塊化結(jié)構(gòu)說(shuō)明
五維精密手動(dòng)微調(diào)轉(zhuǎn)移單元
XYZ 三軸直線微分微調(diào) + XY 雙向俯仰 + Z 軸 360° 旋轉(zhuǎn)，五軸獨(dú)立微分頭調(diào)節(jié)，最小進(jìn)給 1μm，螺桿傳動(dòng)無(wú)回程間隙，人工手動(dòng)完成薄膜精準(zhǔn)對(duì)位，適配多變量探索性科研實(shí)驗(yàn)。
PID 恒溫真空吸附載物臺(tái)
多孔陶瓷真空吸附臺(tái)面，室溫～200℃寬溫連續(xù)控溫，控溫穩(wěn)定精度 ±0.1℃，支持高溫干法剝離、多段階梯退火工藝；負(fù)壓分段可調(diào)，適配硅片、石英、PDMS、柔性襯底等各類基底。
三目金相顯微觀測(cè)單元
三目鏡筒搭配高清工業(yè)相機(jī)與監(jiān)視器，同軸冷光源，100~900 倍連續(xù)變倍放大，實(shí)時(shí)可視化觀測(cè)單層二維薄膜邊界、剝離、貼合全過(guò)程，精準(zhǔn)識(shí)別微米級(jí)薄膜形貌缺陷。
消音真空吸附氣控單元
無(wú)油低噪隔膜真空泵，負(fù)壓 0~-90KPa 連續(xù)可調(diào)，可自由切換干法、濕法轉(zhuǎn)移工藝，輕柔吸附超薄單層材料，避免薄膜撕裂、褶皺、滑移。
阻尼隔振光學(xué)支撐底座
一體化鑄鐵阻尼隔振平臺(tái)，內(nèi)置高效阻尼夾層，隔絕人員走動(dòng)、空調(diào)、周邊設(shè)備帶來(lái)的低頻振動(dòng)，長(zhǎng)時(shí)間手動(dòng)堆疊樣品無(wú)偏移漂移，保障對(duì)位精度。
四、核心技術(shù)參數(shù)總表
| 參數(shù)分類 | 參數(shù)項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) |
|---|---|---|
| 五維手動(dòng)位移系統(tǒng) | XY 有效行程 | 25mm×25mm |
| Z 軸升降行程 | 12mm | |
| 最小微分進(jìn)給精度 | 1μm | |
| 角度調(diào)節(jié)范圍 | X/Y±5° 俯仰，Z 軸 360° 旋轉(zhuǎn) | |
| 傳動(dòng)結(jié)構(gòu) | 精密微分螺桿，無(wú)回程間隙 | |
| 溫控真空載物臺(tái) | 控溫區(qū)間 | 室溫～200℃ |
| 控溫穩(wěn)定精度 | ±0.1℃ | |
| 臺(tái)面規(guī)格 | 40×40mm 多孔陶瓷真空吸附臺(tái)面 | |
| 顯微光學(xué)成像系統(tǒng) | 顯微鏡類型 | 三目金相顯微鏡 |
| 放大倍率 | 100 ~ 900 倍連續(xù)可調(diào) | |
| 成像輸出 | 高清工業(yè)相機(jī) + 液晶監(jiān)視器 | |
| 真空吸附系統(tǒng) | 真空泵規(guī)格 | 7L/min 無(wú)油消音隔膜泵 |
| 負(fù)壓調(diào)節(jié)區(qū)間 | 0 ~ -90KPa 連續(xù)可調(diào) | |
| 整機(jī)配套底座 | 支撐平臺(tái) | 一體式阻尼隔振光學(xué)平臺(tái) |
| 整機(jī)供電 | 工作電壓 | AC220V 50Hz |
五、產(chǎn)品核心優(yōu)勢(shì)
1. 緊湊型桌面機(jī)身，節(jié)省實(shí)驗(yàn)室臺(tái)面空間
2. 五維微米級(jí)手動(dòng)微分調(diào)節(jié)，操作靈活零學(xué)習(xí)成本
3. 干濕法雙工藝通用，覆蓋全部二維薄膜制備需求
4. 一體化精密溫控退火模塊，適配多元薄膜工藝
5. 高清可視化顯微觀測(cè)，大幅降低樣品報(bào)廢率
6. 標(biāo)配阻尼隔振底座，抑制環(huán)境振動(dòng)干擾
7. 高性價(jià)比低維護(hù)，適配高校預(yù)算采購(gòu)
8. 模塊化拓展設(shè)計(jì)，后期可升級(jí)全套表征系統(tǒng)
六、典型應(yīng)用領(lǐng)域
二維范德華異質(zhì)結(jié)科研制備
石墨烯 /hBN 垂直堆疊、多層 TMDs 異質(zhì)結(jié)構(gòu)、磁性二維材料、鈣鈦礦復(fù)合薄膜樣品制備；
低維光電器件研發(fā)
二維場(chǎng)效應(yīng)晶體管、光電探測(cè)器、柔性憶阻器、微納發(fā)光器件、傳感芯片樣品制備；
薄膜光學(xué)與輸運(yùn)特性表征
大面積薄膜 PL、拉曼掃描測(cè)試、載流子輸運(yùn)機(jī)理、界面光電效應(yīng)課題研究；
高校教學(xué)與基礎(chǔ)科研
材料、物理、微電子專業(yè)本科教學(xué)演示、碩士博士課題標(biāo)準(zhǔn)化樣品制備；
企業(yè)小型研發(fā)實(shí)驗(yàn)室
柔性電子、新型半導(dǎo)體、光傳感材料小批量樣品試制與工藝摸索。
七、標(biāo)準(zhǔn)出廠全套配置清單
FST-MDF02 緊湊型手動(dòng)二維轉(zhuǎn)移主機(jī)（含阻尼隔振光學(xué)底座）
五維精密微分手動(dòng)微調(diào)轉(zhuǎn)移模組
室溫～200℃ PID 真空吸附陶瓷溫控載物臺(tái)
三目金相顯微鏡 + 高清工業(yè)成像相機(jī) + 液晶監(jiān)視器
無(wú)油消音真空泵、全套真空管路與負(fù)壓調(diào)節(jié)閥
標(biāo)準(zhǔn) PDMS 襯底、玻璃載片、樣品固定夾具全套耗材
整機(jī)電源線、信號(hào)傳輸線、操作手冊(cè)、配套調(diào)節(jié)工具包
八、可選拓展選配模塊
原位電學(xué)探針測(cè)試模組：堆疊完成后 IV、光電響應(yīng)原位測(cè)試
密閉高真空腔體模組：隔絕水汽氧化，適配黑磷、鈣鈦礦等易氧化材料
大面積 LED 太陽(yáng)光模擬器、多波長(zhǎng)單色 LED 光源
氣浮隔振平臺(tái)升級(jí)套件、手套箱內(nèi)置適配改造組件
電動(dòng)伺服升級(jí)套件，可將手動(dòng)款改造為全自動(dòng)程控轉(zhuǎn)移系統(tǒng)
九、質(zhì)保與配套技術(shù)服務(wù)
質(zhì)保政策：整機(jī)標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)保 1 年，微分微調(diào)滑軌、溫控加熱組件、真空傳感器核心部件 2 年質(zhì)保；
技術(shù)支持：免費(fèi)提供設(shè)備操作手冊(cè)、全套二維材料干濕法轉(zhuǎn)移標(biāo)準(zhǔn)工藝方案、遠(yuǎn)程操作指導(dǎo)；
定制服務(wù)：支持臺(tái)面尺寸、溫控區(qū)間、位移行程、拓展接口非標(biāo)定制；
交付周期：標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型 7 個(gè)工作日發(fā)貨，帶多套選配模塊定制機(jī)型 15~20 個(gè)工作日交付；
增值服務(wù)：工程師上門(mén)裝機(jī)調(diào)試、設(shè)備精度校準(zhǔn)、課題組人員實(shí)操培訓(xùn)、長(zhǎng)期工藝技術(shù)咨詢。
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