FST-PQ01 高精度電動(dòng)二維材料轉(zhuǎn)移系統(tǒng)
企業(yè)
一、產(chǎn)品主標(biāo)題
二、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
三、整機(jī)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)說(shuō)明
電動(dòng)多軸納米位移轉(zhuǎn)移單元
XYZ 三軸電動(dòng)閉環(huán)位移臺(tái)，搭配 X/Y 俯仰、Z 軸旋轉(zhuǎn)電動(dòng)微調(diào)，上位機(jī)軟件精準(zhǔn)定位，重復(fù)定位納米級(jí)，支持點(diǎn)位存儲(chǔ)、自動(dòng)掃描、多點(diǎn)堆疊程序。
PID 恒溫真空溫控載物臺(tái)
陶瓷真空吸附臺(tái)面，寬溫區(qū)連續(xù)控溫，支持階梯升溫退火工藝，內(nèi)置風(fēng)冷快速降溫，防止超薄薄膜高溫氧化、形變；負(fù)壓分段可調(diào)，適配 PDMS、PC、硅片、石英等多種襯底。
三目金相顯微成像觀測(cè)單元
三目鏡筒搭配高清工業(yè)相機(jī)與顯示監(jiān)視器，同軸環(huán)形冷光源，高倍率清晰分辨單層二維材料邊界，實(shí)時(shí)可視化監(jiān)控薄膜剝離、對(duì)準(zhǔn)、貼合全過(guò)程。
消音真空吸附氣控單元
無(wú)油消音隔膜真空泵，分段負(fù)壓調(diào)節(jié)，可切換干法剝離、濕法撈膜兩種主流工藝，避免超薄薄膜撕裂、滑移。
全自動(dòng)運(yùn)動(dòng)控制主機(jī)與上位機(jī)軟件
獨(dú)立電控機(jī)箱，配套 Windows 可視化程控軟件，可自定義運(yùn)動(dòng)軌跡、溫度曲線(xiàn)、堆疊流程，支持無(wú)人值守自動(dòng)批量樣品制備。
阻尼隔振光學(xué)底座
一體化鑄鐵阻尼隔振平臺(tái)，隔絕地面震動(dòng)干擾，保障納米級(jí)對(duì)準(zhǔn)精度長(zhǎng)期穩(wěn)定。
四、核心技術(shù)參數(shù)總表
| 參數(shù)分類(lèi) | 參數(shù)項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) |
|---|---|---|
| 電動(dòng)位移系統(tǒng) | XY 有效行程 | 25mm×25mm（可定制更大行程） |
| 最小步進(jìn)分辨率 | 50nm | |
| 重復(fù)定位精度 | ±200nm | |
| 角度調(diào)節(jié) | X/Y±5° 電動(dòng)俯仰，Z 軸 360° 電動(dòng)旋轉(zhuǎn) | |
| 驅(qū)動(dòng)方式 | 伺服閉環(huán)電動(dòng)驅(qū)動(dòng) | |
| 溫控載物系統(tǒng) | 溫度區(qū)間 | 室溫～200℃連續(xù)可調(diào) |
| 控溫穩(wěn)定精度 | ±0.1℃ | |
| 臺(tái)面尺寸 | 40×40mm，真空吸附多孔陶瓷臺(tái)面 | |
| 顯微光學(xué)系統(tǒng) | 顯微鏡類(lèi)型 | 三目金相顯微鏡 |
| 放大倍率 | 100~900 倍連續(xù)可調(diào) | |
| 成像輸出 | 高清工業(yè)相機(jī) + 21.5 寸監(jiān)視器 | |
| 真空氣控系統(tǒng) | 真空泵規(guī)格 | 7L/min 無(wú)油消音泵 |
| 負(fù)壓調(diào)節(jié)范圍 | 0~-90KPa 連續(xù)可調(diào) | |
| 電控系統(tǒng) | 控制方式 | 獨(dú)立電控箱 + PC 上位機(jī)軟件程控 |
| 程序功能 | 多點(diǎn)位存儲(chǔ)、自動(dòng)堆疊、階梯溫控、運(yùn)動(dòng)序列編輯 | |
| 整機(jī)基礎(chǔ) | 支撐底座 | 一體式阻尼隔振光學(xué)平臺(tái) |
| 整機(jī)供電 | AC220V 50Hz |
五、產(chǎn)品核心優(yōu)勢(shì)
1. 全電動(dòng)閉環(huán)自動(dòng)控制，樣品制備高度可復(fù)現(xiàn)
2. 可視化全自動(dòng)堆疊，支持批量無(wú)人值守實(shí)驗(yàn)
3. 納米級(jí)超高定位精度，超薄二維薄膜無(wú)損傷對(duì)準(zhǔn)
4. 一體化溫控退火模塊，兼容全品類(lèi)二維材料工藝
5. 模塊化拓展設(shè)計(jì)，一機(jī)集成全套表征系統(tǒng)
6. 標(biāo)配阻尼隔振底座，杜絕震動(dòng)導(dǎo)致對(duì)位漂移
7. 干濕法雙工藝兼容，覆蓋全部二維材料制備需求
六、典型應(yīng)用領(lǐng)域
二維范德華異質(zhì)結(jié)制備
石墨烯 /hBN 垂直堆疊、多層 TMDs 異質(zhì)結(jié)構(gòu)、鈣鈦礦二維復(fù)合薄膜、磁性二維材料堆疊；
光電器件研發(fā)制備
二維材料場(chǎng)效應(yīng)晶體管、光電探測(cè)器、柔性憶阻器、微納發(fā)光器件樣品制備；
半導(dǎo)體微納表征實(shí)驗(yàn)
大面積薄膜 PL / 拉曼 Mapping 掃描、器件原位電學(xué)測(cè)試、載流子輸運(yùn)特性研究；
高校教學(xué)科研平臺(tái)
材料、物理、微電子專(zhuān)業(yè)教學(xué)演示、本科生課題、研究生論文標(biāo)準(zhǔn)化樣品制備；
企業(yè)研發(fā)中心小批量器件試制
柔性電子、光傳感、新型半導(dǎo)體器件小批量樣品自動(dòng)化制備。
七、標(biāo)準(zhǔn)出廠(chǎng)配置清單
FST-PQ01 電動(dòng)二維材料轉(zhuǎn)移主機(jī)（含阻尼隔振光學(xué)底座）
電動(dòng) XYZ 三軸位移轉(zhuǎn)移頭 + 電動(dòng)角度微調(diào)模組
200℃ PID 真空吸附溫控陶瓷載物臺(tái)
三目金相顯微鏡 + 高清工業(yè)成像相機(jī) + 21.5 寸監(jiān)視器
無(wú)油消音真空泵 + 全套真空管路、負(fù)壓調(diào)節(jié)閥
獨(dú)立伺服電控驅(qū)動(dòng)機(jī)箱、配套上位機(jī)控制軟件
PDMS 襯底、玻璃載片、標(biāo)準(zhǔn)樣品夾具全套耗材
整機(jī)電源線(xiàn)、信號(hào)傳輸線(xiàn)、操作手冊(cè)、配套工具包
八、可選拓展選配模塊
原位電學(xué)探針測(cè)試模組：實(shí)現(xiàn)堆疊后 IV、光電響應(yīng)原位測(cè)試
高真空密閉腔體模組：隔絕水汽氧化，適配黑磷、鈣鈦礦等易氧化材料
大面積 LED 太陽(yáng)光模擬器、多波長(zhǎng)單色 LED 光源
更高行程電動(dòng)位移臺(tái)、低溫制冷溫控臺(tái)、自動(dòng)點(diǎn)膠模組
氣浮隔振平臺(tái)升級(jí)方案、手套箱內(nèi)部適配改造套件
九、質(zhì)保與配套技術(shù)服務(wù)
質(zhì)保政策：整機(jī)標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)保 1 年，電動(dòng)位移滑軌、光柵傳感器、溫控加熱核心部件 2 年質(zhì)保；
技術(shù)支持：免費(fèi)提供設(shè)備操作手冊(cè)、上位機(jī)控制軟件、二維材料全套轉(zhuǎn)移工藝方案；
定制服務(wù)：支持位移行程、溫控區(qū)間、真空腔體、通訊接口非標(biāo)定制；
交付周期：標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型 7 個(gè)工作日出貨，帶多套選配模塊定制機(jī)型 15~20 個(gè)工作日交付；
增值服務(wù)：工程師上門(mén)裝機(jī)、光路與精度校準(zhǔn)、操作人員完整實(shí)操培訓(xùn)、長(zhǎng)期遠(yuǎn)程工藝技術(shù)指導(dǎo)。
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