PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。
| 設(shè)備名稱 | 6英寸小型等離子清洗機(jī)-PCE-6 （2019.11.1-科晶實(shí)驗(yàn)室審核） |
| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span> 4、配件妥善保管提示 |
| 設(shè)備特點(diǎn) | 擁有6英寸清洗腔室，可清洗約5英寸直徑的基片。 ·通過(guò)控制面板的按鍵及開(kāi)關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、清洗時(shí)間如圖一。 真空泵的開(kāi)閉如圖二。 ·時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。 ·設(shè)有一個(gè)三通閥，可大體控制進(jìn)氣流量。 |
| 主要參數(shù) | 輸入功率：AC 220V，50/60 Hz， 射頻功率：30 W 真空泵：<> 總功率：<> 射頻功率：射頻功率（施加在線圈上的高壓和高頻電流）可以在三個(gè)級(jí)別上調(diào)節(jié)：低設(shè)置7.2W；中設(shè)置10.2W; 高設(shè)定30W 射頻頻率：13,56 MHz
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| 機(jī)體結(jié)構(gòu) | ·高純石英腔體，Φ160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封，法蘭上設(shè)有Φ45mm 的觀察窗 ·帶觀察窗的鉸鏈?zhǔn)介T，便于樣品加載和觀察
控制面板：控制功能：清潔時(shí)間，射頻功率，真空泵。
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| 惰性氣體 | ·通入氣體：可通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定） ·等離子清洗機(jī)不得使用易燃及腐蝕性氣體 |
| 外形尺寸 | ·400mm×300mm×300mm
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| 凈重 | 10.2kg |
| 認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
| 質(zhì)保期 | 一年保修，終身技術(shù)支持。 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
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