
| 卡盤定制系統(tǒng) | |||||||
| 卡盤類型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 溫度范圍 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller電源 | 380 VAC ± 10%,三相(可定制) | ||||||
| Chiller總功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控溫模組 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 溫度均勻性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加熱能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面處理 | 鍍鎳/鍍金 | ||||||
| 控溫方式 | 內(nèi)置多個(gè)溫度傳感器,多區(qū)控溫,精確PID調(diào)節(jié)控溫 | ||||||
| 如有其他需求,可非標(biāo)定制 | |||||||


快速溫變控溫卡盤Chuck是半導(dǎo)體測試與精密制造領(lǐng)域的溫控設(shè)備,無錫冠亞恒溫作為專業(yè)廠家,提供的產(chǎn)品集晶圓固定與快速溫度控制于一體,適用于8/12英寸晶圓及各類芯片的變溫測試場景。
快速溫變控溫卡盤Chuck功能與原理
該設(shè)備通過真空吸附或靜電吸附技術(shù)牢固固定工件,內(nèi)置高精度加熱/制冷單元與多區(qū)溫度傳感器,配合閉環(huán)PID控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)從低溫到高溫的連續(xù)準(zhǔn)確控溫。無需液氮等耗材,自帶冷熱控制單元,避免氣體消耗,降低使用成本。
快速溫變控溫卡盤Chuck技術(shù)參數(shù)與特點(diǎn)
· 溫度范圍:-65℃~+200℃
· 控溫精度:溫度均勻性達(dá)±0.5℃,杜絕溫度漂移
· 適配性:支持直冷、液冷、氣冷多種方式,表面可選鍍鎳/鍍金處理
快速溫變控溫卡盤Chuck應(yīng)用場景
廣泛應(yīng)用于RF器件測試、高密度功率器件測試、車規(guī)級芯片老化測試、AI芯片晶圓測試及實(shí)驗(yàn)室平板快速冷卻等場景,幫助用戶評估芯片在不同溫度條件下的性能與穩(wěn)定性。快速溫變控溫卡盤Chuck-半導(dǎo)體控溫冷卻機(jī)
無錫冠亞恒溫chiller優(yōu)勢
提供非標(biāo)定制服務(wù),支持方形冷板等特殊規(guī)格,配備PLC控制器與7寸顯示界面,可實(shí)時(shí)記錄溫度數(shù)據(jù),為半導(dǎo)體、新能源、制藥化工等行業(yè)提供穩(wěn)定可靠的溫控解決方案。快速溫變控溫卡盤Chuck-半導(dǎo)體控溫冷卻機(jī)




























采購中心
