芯矽科技Cassette清洗機(jī)是專為半導(dǎo)體晶圓、光伏硅片及精密元器件批量清洗打造的濕法清洗設(shè)備，適配6/8英寸晶圓，以多槽模塊化設(shè)計(jì)集成預(yù)洗、主洗、漂洗、干燥全流程，實(shí)現(xiàn)Cassette批處理，每小時(shí)高效處理120-200片，適配自動化產(chǎn)線。

設(shè)備融合多元清洗技術(shù)，支持RCA標(biāo)準(zhǔn)流程，搭配超聲波與兆聲波協(xié)同，空化效應(yīng)剝離納米級顆粒，高壓噴淋深入微結(jié)構(gòu)，可選等離子體清洗，精準(zhǔn)去除光刻膠、蝕刻殘留等污染物。在精度控制上，溫度調(diào)節(jié)常溫至80℃，精度±0.1℃，化學(xué)液與去離子水流速精準(zhǔn)調(diào)控，保障清洗一致性。

智能化方面，全自動機(jī)械臂上下料，結(jié)合MES遠(yuǎn)程監(jiān)控與AI算法動態(tài)優(yōu)化參數(shù)，自動記錄清洗數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)全流程追溯。設(shè)備采用PFA/PTFE耐腐蝕槽體，內(nèi)置0.1μm過濾器，結(jié)合廢液回收系統(tǒng)，兼顧潔凈與環(huán)保。

憑借高效批量處理、精準(zhǔn)工藝控制、智能追溯及環(huán)保設(shè)計(jì)，該設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光伏、LED等領(lǐng)域，為國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈提供高可靠清洗方案，助力產(chǎn)業(yè)降本增效與自主可控。