500W標(biāo)準(zhǔn)射頻電源
標(biāo)準(zhǔn)系列射頻電源擁有體積小、重量輕、高效率等優(yōu)點(diǎn)。大屏幕液晶顯示:設(shè)定功率、入射功率、反射功率、狀態(tài)等參數(shù),同時(shí)還可以顯示匹配器的運(yùn)行參數(shù)。并且通過(guò)數(shù)字通訊技術(shù)連接射頻電源和匹配器,從而實(shí)現(xiàn)在射頻電源面板上就可以操作匹配器。電源融合工業(yè)應(yīng)用所需的大部份功能,都可以通過(guò)面板操作設(shè)定界面實(shí)現(xiàn)。包括:控制方式選擇:面板控制、模擬口控制、數(shù)字通訊控制??梢栽O(shè)定通訊參數(shù),通訊地址等。脈沖參數(shù):脈沖頻率、占空比等。完備的接口控制方式,使其方便與現(xiàn)在通用的射頻電源:AE、MKS、COMDEL等品牌實(shí)現(xiàn)互換。
500W | |||
輸出功率 | 0-500W | 模擬控制接口 | DB15 |
功率穩(wěn)定度 | ≤±0.5% | 輸出接口 | N/UHF |
輸出頻率 | 13.56MHz | 尺寸 | 440(寬)×380(深)×84(高)標(biāo)準(zhǔn)2U |
頻率信號(hào) | 標(biāo)準(zhǔn)正弦波 | 面板尺寸 | 480(寬)×88(高) |
輸入電壓 | AC180-250V | 重量 | 8.5Kg |
輸入電流 | 5A | 脈沖 | 有 |
輸出阻抗 | 50歐 | 脈沖頻率 | 100-10KHz |
承受駐波比 | >3.0 | 占空比 | 10%-90% |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | 主從模式CEX | 有 |
通訊口 | RS232 RS485 標(biāo)準(zhǔn)Modebus | 匹配器控制 | 有 |

















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