爐體結(jié)構(gòu)

• 爐體采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風冷系統(tǒng)，保證殼體表面溫度小于60℃

• 用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，并且表面涂有高溫氧化鋁涂層（可提高加熱效率和延長使用壽命）

• 加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金（表面涂有氧化鋯涂層，可延長使用壽命）

• 開啟式的爐體設計，使更換爐管更加方便

功率&電壓

• AC 208-240V 單相, 50/60 Hz

• 功率：8.5 KW (需要50A 的空氣開關(guān))

工作溫度

1200℃（使用時間小于1小時）

連續(xù)工作溫度

1100℃

升溫速率

10℃ /min

石英管&管堵所放位置

• 爐管尺寸130 OD x122 ID x2000 L mm（可選配直徑為25mm、50mm、60mm、80mm或100mm的石英管）

• 儀器中配有氧化鋁管堵，使用時必須放在石英管兩端
  

密封法蘭

• 設備中配有一套卡箍式快接法蘭（爐體兩端帶有支架，用于支撐法蘭）

• 左端法蘭上安裝不銹鋼截止閥和卡套接頭（用于通入氣體）

• 右端法蘭上安裝有防腐真空計，法蘭設計為KF25接頭（用于連接真空泵）
  

加熱區(qū)

• 七個溫區(qū)有七個獨立的溫控系統(tǒng)控制，每個溫區(qū)長度為150mm: 總加熱區(qū)長:1050 mm ( 42 )

• 恒溫區(qū)長度：875 mm（7個溫區(qū)設置同樣的溫度）

溫控系統(tǒng)

• 控制柜與爐體分開，采用觸摸屏來操作來控制七個溫區(qū)，每個溫區(qū)有獨立的控制通道。

• 每個控制通道可設置30段升降溫程序

• 設有超溫和斷偶保護

• 控溫精度為：+/- 1 oC

• 熱電偶：采用K型鎧裝熱電偶

• 控制面板上安裝有RS485接口，可連接電腦將數(shù)據(jù)導出
  

可選

• 客戶可選購多通道質(zhì)量流量計供氣系統(tǒng)，用于和管式爐配合來做CVD實驗

• 可選購壓力控制系統(tǒng)，來確保爐管內(nèi)氣壓恒定
  

尺寸

重量

• 爐體重量：332kg

• 控制柜重量：92kg

質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終生維護（不含爐管、密封圈和加熱元件等損耗件）

• CE認證

• 所有電器元件（>24V）都通過UL?/?MET?/?CSA認證

• 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
   

• 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

• 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

• 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)

• 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

• 石英管的長時間使用溫度＜1100℃

• 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）