產(chǎn)品型號(hào)

ME-L 全自動(dòng)高精度穆勒矩陣型橢偏儀

主要特點(diǎn)

1、采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍(193-2500nm)

2、可實(shí)現(xiàn)穆勒矩陣數(shù)據(jù)處理，測量信息量更大，測量速度快、數(shù)據(jù)更加精準(zhǔn)

3、基于雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器配置， 可一次測量獲得全部穆勒矩陣的 16 個(gè)元素，相對(duì)傳統(tǒng)光譜

橢偏儀可獲取更加豐富全面的測量信息

4、頤光技術(shù)確保在寬光譜范圍內(nèi)，提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜

5、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料

6、集成對(duì)納米光柵的分析，可同時(shí)測量分析納米結(jié)構(gòu)周期、線寬、線高、側(cè)壁角、粗糙

度等幾何形貌信息

技術(shù)參數(shù)

1、應(yīng)用：科研級(jí)/企業(yè)級(jí)

3、分析光譜： 380-1000nm(支持?jǐn)U展至210-1650nm)

4、單次測量時(shí)間： 1-8s

5、重復(fù)性測量精度： 0.005nm

6、精度(直通測量空氣)

橢偏參數(shù): ψ=45±0.05°△=0±0.1°

穆勒矩陣:對(duì)角元素 m=1±0.005； 非對(duì)角元素 m=0±0.005

7、光斑大?。?/span> 大光斑 2-3mm；微光斑 200 μm

可選配置

波段選擇

V:380-1000nm

UV:245-1000nm

XN:210-1650nm

DN+:193-2500nm

角度選擇

自動(dòng):45-90°

手動(dòng):55-75°(5°步進(jìn)),90°

固定:65°

其他選擇

Mapping 選擇:100×100mm(供參考,按需定制)

溫控臺(tái):室溫一 600C(供參考,按需定制)

可選配件

1

溫控臺(tái)

2

Mapping 擴(kuò)展模塊

3

真空泵

4

透射吸附組件